浅谈有用洁净室的结构方式

  有用洁净室主要是依据工艺特色进行安置，在满意使用上的要求的前提下求得经济合理，故有典型的结构方式如下：

  大面积的单向流或非单向流洁净室。常用于工艺进程对各洁净区要求的洁净度等不同不大的，其特色是：

  ②缺陷：高运转费用；对大面积的单向流，其回风通道所占面积/空间大；防火分隔受限止，安全性差。

  各洁净区按工艺的工序及洁净度要求做分隔及连通，并进行各区间的压差操控，多用于制药工业及手术部，亦常把此归入开放式内。

  有二种基本方式：一是把各有关工艺设备的要害加工部位（即加工物露出于周围空气中的部位）与设备的服务部位加以物理分隔，一般各设备的要害加工部位都面临安置，置于单向流洁净区（洁净地道内），而设备的服务部位置于要求不严的非单向流洁净区内，以完成削减单向流洁净区的面积；另一种方式是把各工艺设备的要害加工部位置于非单向流洁净地道的罩流层下，其它都同前。

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