收拾来历风淋室 超净工作台 高效过滤器 FFU 层流罩 洁净室的制作特色 洁净室 修建 制作 制作 特色 出资 运转 灵敏性 可靠性 扼要介绍洁净室制作的四个特色洁净室制作出资费用高、运转的本钱大、灵敏习惯能力强、安全可靠性高。 阅览目录 一、制作出资费用高 二、运转管理费用大 三、灵敏习惯能力强 四、安全、可靠性好 五、相关阅览 一、制作出资费用高 高等级洁净室的制作费用很高一般来说100 级笔直单向流的洁净室其室内装饰墙、顶、地、门、窗等和空调净化体系包含制冷空调设备和管道配件、净化设...
收拾来历风淋室 超净工作台 高效过滤器 FFU 层流罩 洁净室的制作特色 洁净室 修建 制作 制作 特色 出资 运转 灵敏性 可靠性 扼要介绍洁净室制作的四个特色洁净室制作出资费用高、运转的本钱大、灵敏习惯能力强、安全可靠性高。 阅览目录 一、制作出资费用高 二、运转管理费用大 三、灵敏习惯能力强 四、安全、可靠性好 五、相关阅览 一、制作出资费用高 高等级洁净室的制作费用很高一般来说100 级笔直单向流的洁净室其室内装饰墙、顶、地、门、窗等和空调净化体系包含制冷空调设备和管道配件、进化设备和配件等的初出资大约为 10000 元人民币/m2假如加上纯水制备设备和体系管道纯气产生和体系管道废水管理设备和管道消防联动控制体系供配电和自控体系真空打扫体系等等其单位面积的制作出资费用要高达 25000~30000 元人民币/ m2。 就拿已投产的上海华虹 NEC 超大规模集成电路芯片生产线洁净室举例来说华虹 NEC 为月投片 30000片 8硅片集成电路前工序生产线 m2在边跨上。在中心部位的 10000 m2洁净室中有 4000 m2的 1 级、10 级和 100 级的笔直单向流洁净室别的 6000 m2分别为 1000 级和 10000 级的非单向流洁净室总送风量约 6,400,000 m3/h。于 1998 年末建成投产。 该项目总出资约 100 亿人民币其间动力设备和土建出资为 20 亿人民币占总出资的五分之一。单核心部分的 10000 m2 的洁净室的制作费用就高达 6000 万美元 约 5 亿人民币 日本三机株式会社施工 折合每平方米制作费用约 50000 元人民币/ m2。二、运转管理费用大 由于高等级洁净室净化风量大新风量也大温湿度要求严厉所以空气热湿处理和空气输配的能量消耗大耗电多运转的本钱贵。
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