洁净室的制作特色doc

  高等级洁净室的制作费用很高，一般来说，100级笔直单向流的洁净室，其室内装饰（墙、顶、地、门、窗等）和空调净化体系（包含制冷空调设备和管道配件、进化设备和配件等）的初出资大约为10000元人民币/m2；假如加上纯水制备设备和体系管道，纯气产生和体系管道，废水管理设备和管道，消防联动控制体系，供配电和自控体系，真空打扫体系等等，其单位面积的制作出资费用要高达25000~30000元人民币/ m2。

  就拿已投产的上海华虹NEC超大规模集成电路芯片生产线洁净室举例来说，华虹NEC为月投片30000片8硅片集成电路前工序生产线 m2在边跨上。在中心部位的10000 m2洁净室中有4000 m2的1级、10级和100级的笔直单向流洁净室，其他6000 m2分别为1000级和10000级的非单向流洁净室，总送风量约6,400,000 m3/h。于1998年末建成投产。

  该项目总出资约100亿人民币，其间动力设备和土建出资为20亿人民币，占总出资的五分之一。单中心部分的10000 m2的洁净室的制作费用就高达6000万美元（约5亿人民币）（日本三机株式会社施工），折合每平方米制作费用约50000元人民币/ m2。

  由于高等级洁净室净化风量大，新风量也大，温湿度要求严厉，所以空气热湿处理和空气输配的能量消耗大，耗电多，运转的本钱贵。

  还拿上述华虹NEC为例，其中心部分10000 m2洁净室总的送风量为6,400,000 m3/h，运送净化空气的风机耗电量为3840 Kw/h，全年电费为1659万元（），空气热湿处理的耗电量约10000 Kw/h，全年电费为6000万人民币。全年空调净化体系自身的运转的本钱就高达7659万元人民币。折合每年单位面积的运转的本钱为7659元/m2年。

  由于，科学技术的开展很快，高科技的产品不断出现，尤其是电子工业的开展更是一日千里，像集成电路的开展2~3年就更新一代，TFT-LCD的开展速度更快1~2年就上一个台阶。这就要求为其服务的高等级的洁净室有必要能习惯其开展速度，有极好的灵活性和习惯性。由于制作一

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