洁净室：空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求做控制。
左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。
限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3μm。通常均可采取电池或交流电工作。
这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm两种标准配置。
由于这类产品采样空气量小，测量精度相比来说较低，但随检测工作员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。
卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检验测试过程中，若有报警声 （即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检验测试过程中应带防护面罩和防护眼罩。
风量罩体大多数都用在采集风量，将风汇集至基础上的风速均匀器上。在风速均匀器上装有热式传感器，热式传感器将风速的变化，再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA，大屏幕液晶屏显示直观,直接能够获得风速和风量的数据。简单易操作，可设为记录时间间隔进行连续的参数记录，以便对数据来进行分析。测量和记录的数据被记录在存储卡上，不会丢失，能够最终靠计算机的串口将数据传递到PC机上以及做进一步的应用。
压差检测：普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa，某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10～-30Pa。
根据国家标准GB19489-2008“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气压污染区为-40Pa，根据国家标准GB50346-2011“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。
在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。
测量温湿度：电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量等优点，在洁净室检测、监测中普遍的使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。
电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂—聚氯乙烯等高分子材料制成。
它们都是利用了在不同湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理制成的湿度传感器。
电容式传感器：电容式湿度传感器绝大多数都是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子能够最终靠两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。
洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测试。
照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50㎡洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不可以少于1点。
测量静电：该类测试仪表不直接与带电体接触，而是运用静电感应的原理，间接测试带电体的静电电位。由于这种测试不是直接同带电体相接触，因此也称非接触式测量。
静电感应原理：是将测试探头靠近带电体，利用探头与被测带电体之间产生的畸变电场测试带电体的表面电位。
风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。
注：正确使用风淋室，能够减少带入室内的灰尘。正确听从风淋室播音员的指示做相关操作，够去除95%的1μ以上的灰尘。
做为洁净室内外物品传递之缓冲区，其可防止于传递物品时由于门的开启而破坏了洁净室气流与室压；
洁净室禁止带入易发尘物品、数码产品、食品、个人物品、不使用物品、未清洁物品及工具等。
用纯水无尘布清扫房梁、吊顶螺栓 手够不到的地方用拖把用纯水擦拭一次以上。
要点：将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗，在梁上不要残留下痕迹。
用纯水无尘布清扫配管、管路、线缆桥架等手够不到的地方用拖把用纯水至少擦拭一次以上。
要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗：在配管等上面不要残留下痕迹。
收拾垃圾、用拖把拖⇒楼承板及天花板上用纯水擦拭将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗：在天花板上面不要残留下痕迹。
保护膜全部去除、有电气机器接触的部分用干无尘布擦拭其他配管、管路、桥架等用纯水擦拭清扫。暖通南社制作。
操作顺序是先撕掉保护膜⇒收拾垃圾・用清扫机收拾垃圾、用无尘拖把清洁⇒用纯水擦拭来进行地板清扫(强力的污渍用喷雾剂对应)⇒干燥。
柱子・阀门用水擦拭、墙壁的铝蜂巢板用擦拭的办法来进行清洁。生产盘由设置的业者负责任的进行干擦拭清扫(柱子的话事前能够清扫的地方进行清扫。
4.搬入资材及易耗品等生产物品时一定要通过风淋合格箱进行洗洁作业后再搬入。
6.防静电帽，防静电服外露出头发，眼眉，一般服装不正确时立即到更衣室(Smock Room)点检着装之后再次通过风淋室(Air Shower)后入室。
8.作业时Clean Room帽(防静电帽)，防静电服及防静电鞋破损或受污染时通知组长交换新的使用。
凡需进入无尘室工作人员，无论本公司或公司外部人士，除外宾外(客户、VIP等)。
施工厂商可由警卫室申请「临时工作证」或由相关单位代为申请「长期工作证」。
个人应保持良好卫生习惯，每日洗澡、刮胡子和定期洗头，经常洗手保持手部甲清洁。
无尘室内发现生产环境异状(不明之声音、烟蒂、溶剂及味道)应迅速反应至组长或有关人员、主管。
毒气外露警报声响时，应迅速呼叫同仁由安全门撤离，并应迅速反应至组长或有关人员、主管。
面对Cassette或机台时禁止讲话、较大之肢体动作，并严禁快速走动或追逐(警急警报响时除外)，保持慢速走动 。
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