洁净室的构成及等级要求介绍

  洁净室是指将必定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物扫除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别规划的房间。也便是不管外在之空气条件怎么改变，试验室内均能俱有保持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等功能的特性。

  微流控芯片加工试验室一般要求在洁净环境中，试验室中高温炉区、等离子区、测验区等要求到达千级等级；光刻、匀胶、显影工艺要求在百级超净间进行。

  试验室组成最重要的包括洁净室和外设体系的建造。洁净室的构成是由下列各项体系所组成（在所组成的体系分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完好且质量杰出的洁净室：

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