洁净室的定义及标准

  洁净室几乎用于每个小颗粒都会对制作的完整过程产生不利影响的行业。它们的大小和复杂程度各不相同，大范围的应用于半导体制造，制药，生物技术，医疗设施和生命科学等行业，以及航空航天，光学，军事和能源部常见的关键工艺制造。

  洁净室是任何给定的容纳空间，其中规定减少微粒污染并控制别的环境参数，例如温度，湿度和压力。核心部件是高效微粒空气（HEPA）过滤器，用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器，在某些需要严格清洁性能的情况下，使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。

  选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸，空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室，他们必穿着特殊的衣服，以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。

  根据房间的分类或功能，人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限，或者与多层兔子套装完全包裹在一起，并配有自给式呼吸器。洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染自然环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止相关人员对环境造成污染。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能，并且例如可能会引起医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。洁净室服装包括靴子，鞋子，围裙，胡须套，蓬松帽，工作服，面罩，连衣裙/实验室外套，礼服，手套和手指套，发网，头套，袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低级洁净室可能只需要特殊的鞋子，鞋底完全光滑，不会跟踪灰尘或污垢。但是，鞋底不得产生滑倒危险，因为安全总是第一先考虑。进入洁净室常常要洁净室服。10,000级洁净室能够正常的使用简单的罩衫，头套和短靴。对于10级洁净室，需要小心的长袍穿着程序，并配有拉链盖，靴子，手套和完整的呼吸器外壳。

  洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100％的天花板上使用，以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站（LF罩）中说明，并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是强制性的。

  适当的洁净室设计包括整个空气分配系统，包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中，这在某种程度上预示着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中，它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统模块设计相矛盾。

  洁净室按空气清洁程度分类。在美国的联邦标准209（A至D）中，在一立方英尺的空气中测量等于或大于0.5mm的颗粒数，并且该计数用于对洁净室进行分类。该标准的最新209E版本也接受该度量标准。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是国际标准组织的TC 209。这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行了分类。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求做特定的颗粒计数测量和计算，以对洁净室或洁净区域的清洁度水平进行分类。在英国，英国标准5295用于对洁净室进行分类。该标准即将被BS EN ISO 14644-1取代。

  洁净室根据每单位空气允许的颗粒数量和大小进行分类。诸如“100级”或“1000级”的大数字指的是FED_STD-209E，并且表示每立方英尺空气允许的0.5mm或更大尺寸的颗粒的数量。该标准还允许插值，因此能描述例如“类2000”。

  小数字指的是ISO 14644-1标准，它规定了每立方米空气允许的0.1微米或更大颗粒数的十进制对数。因此，例如，ISO 5级洁净室每m最多105 = 100,000个颗粒。

  FS 209E和ISO 14644-1都假定粒径和粒子浓度之间的对数-对数关系。因此，没有零粒子浓度这样的东西。普通室内空气大约为1,000,000或ISO 9。

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