洁净无尘室之界说规范和设备要求

  洁净无尘室之界说(一)洁净室之界说（供各位参阅）洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件特性。湿度，。

  (二)以下仅就209D 如M1、，尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

  (三)洁净室控管之项目1.能除掉空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。

  7.静电之防制。8.电磁搅扰防备。9.安全要素之考虑。10.节能之考量。

  (四)洁净室之分类1.乱流式(TurbulentFlow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气

  过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。长处：结构简略、体系制作本钱，洁净室之扩大十分简单，在某些特别用处场所，可并用无尘作业台，进步洁净室等级。缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。别的若体系中止作业再激活，欲达需求之洁净度，往

  装作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔，以防止机器修理时影响了作业及质量，ULSI制程大都选用此种型式。洁净地道还有二项长处：A.弹性扩大简单；B.修理设备时可在修理区容易履行。(2)洁净管道(CleanTube)：将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少数之送风即可得到杰出之洁净度，可节省能源，

  不需人工的自动化出产线为最适合运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。(3)并装部分洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净作业台、洁净作业棚、洁净风柜即属此类。洁净作业台：等级Class1~100级。洁净作业棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之通明塑料布围成一小空间，选用独立之HEPA或ULPA

  是在壁面，气流会延着壁面产生涡流效果，此刻要完成高洁净度事实上很困难。笔直层流式方向要坚持均一气流有必要：(a)吹出面的风速不行有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不行有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象产生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，现在一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。影响洁净室的气流要素许多，如制程设备、人员、洁净室拼装

  材、照明用具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑要素。一般操作台或出产设备等外表的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板距离2/3之处，如此可使作业人员作业时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点装备在制程区前方，将成为不妥的气流分流，此刻大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘土将被带到设备后边，作业台因此将遭到污染，良率

  無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做操控，所制作的特别封閉性建築。一般来说，無塵室也會對溫溼度、氣流運動形式、與震動噪音等環境要素做操控。

  無塵室依等級的不同，對必定空間內的微塵粒子最大容許量亦有必定規範，在國際標準中最常用的規範有

  ISO的等級劃分，首要定義了微粒的粒徑是從0.1mm到5mm，在此範圍之外就不列入等級表，可是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。ISO等級自身歸類為ISOClass1到ISOClass9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數。

  第三，进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门装置电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气清新机。

  第四，人和货品进入无尘净化车间须通过，风淋室，货淋室，传递窗首要传递小物品。

  第五，在无尘净化车间内部分要到达10-1000级当地装置笔直层流作业台，层流罩（FFU），洁净棚（可移式净化作业棚），自净器。

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