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洁净室界说和等级区分


日期: 2023-12-10 来源:体化设备包

  洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室。「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内,而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变,其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。

  洁净室最主要之作用在于操控产品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作,此空间咱们叫做「洁净室」。

  净化等级大体上分为100级、1000级、10000级、100000级,现在2010年版的GMP净化车间现已不必这个叫法了,分为ABCD等级,别离相对应于98版的几个等级,经过查验测验区域内的尘土粒子数、浮游菌数、沉降均数点评净化等级,各个等级有不同的要求,净化等级分静态、动态两种。

  世界各国均有自定规范,但遍及仍是用美国联邦规范209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国拟定规范作介绍与彼此比较。

  209E与209D等最大之不同在于209E表明单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表明,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,合作国际公制单位之规范化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表明,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者彻底幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表明。

  洁净网z:Wg1pj 美国联邦规范FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是选用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数规范。日本规范之表明法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表明,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。



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