洁净室标准规格说明

  洁净室标准规格说明（一） 洁净室型态 洁净室定义[CLEAN ROOM] [Clean ROOM]洁净室， 亦名无尘室或清净室， 目前已是半导体工业和生物化学、 医药、 食品界等不可或缺之重要设施。 近几年来，由于技术之创新发展， 对于产品的高精密度化、 细小型化之需求更为迫切， 如超大型积体电路(VLSI， Very Large Scale IntegratedCircuit)之研究制造， 已变成全球各国在科技发展上极为重视之项目， 我国亦不例外。 然积体电路与精密轴承(Bearing)、 太空航空仪器、 光学机械等之精密机械产业， 对空气中之浮游粒子、 粉尘等之污染极为敏感， 且对于产品之品质、 可靠性及良率高...

  洁净室标准规格说明（一） 洁净室型态 洁净室定义[CLEAN ROOM] [Clean ROOM]洁净室， 亦名无尘室或清净室， 目前已是半导体工业和生物化学、 医药、 食品界等不可或缺之重要设施。 近几年来，由于技术之创新发展， 对于产品的高精密度化、 细小型化之需求更为迫切， 如超大型积体电路(VLSI， Very Large Scale IntegratedCircuit)之研究制造， 已变成全球各国在科技发展上极为重视之项目， 我国亦不例外。 然积体电路与精密轴承(Bearing)、 太空航空仪器、 光学机械等之精密机械产业， 对空气中之浮游粒子、 粉尘等之污染极为敏感， 且对于产品之品质、 可靠性及良率高低有著极大之影响。 由于以上之产品必须在良好之洁净室内进行生产制造， 故工业用之洁净室在各种产业上已被广泛采用。 另一方面在医学上及医疗技术方面， 对于手术室， 新生儿室、 重症加护病房(Intensive Care Unit, ICU)、 烫伤病房及冠状动脉加护病房， (Coronary Care Unit,CCU)等场所所为达成高度医疗效果， 亦需有去除空气中浮游细菌之无菌之无菌环境， 以维人员生命安全。 其次在制药工作、 食品制造业及医疗仪器制造业、 生化及细菌培养等为提升产品品质及安全卫生， 以去除空气中浮游细菌或微生物与外界异物之干扰侵犯之无菌洁净室亦应运而生。 针对积体电路（半导体行业） 而言， 洁净室最重要之作用在于控制产品(如夕晶片等)所接轴之大气的洁净度及温湿度， 使产品能在一个良好之环境空间中生产、 制造， 此空间我们叫做[洁净室}。 换言之， 洁净室之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、 有害空气、 细菌等之污染物排除， 并将室内之温湿度、 洁净度、 室内压力、 气流速度与气流分布、 噪音震动及照明、 静电控制在某一需求范围内， 而所给于特别设计之房间。 亦即是不论为在之空气条件如何变化， 其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、 温湿度及压力等性能之特性。 从另一角度看， 洁净室之立方英尺内之空气所含有大或等于0.5um(1 0-6M)之灰尘粒子不超过 1 颗； 洁净室 1 0 级则为不超过 1 0 颗， 洁净室 1 00 级， 1 000 级......依此类推。 我们大家可以一简式表示之即 Class1 :≦1 pc/ft3(@≧0.5um),Class1 0:≦1 0pcs/ft3(@≧0.5um)......。 由以上之定义， 我们可知构成洁净室须具备以下之各项因素： 1 . 能除去空气中漂游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害化学气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰之预防。 9. 安全因素之考虑。 1 0. 节能之考量。 洁净室历史演进 二次世界大战时美国空军发现大部分飞机零件故障之原因， 乃因粉屑、 灰尘等之污染所引起， 因此开始将这些小轴衬、 齿轮等置空气中浮游灰尘较少之处来加工及组合， 因而使故障率得以减少， 此为洁净室观念之起源。 而 1 958 年美国为了开始太空科学之研究， 开始做洁净室之研究， 并于 1 961 年完成有关美国空军之洁净室规格， 并于 1 963 年 1 2 月经由美国联邦洁净室之规格 Federal Standard No.209。 表 1 -1 为美国空军规格(T.O.00-25-203),而表 1 -2 则为 FS 209 整个开发过程。

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