洁净室(无尘室)规范 (一)洁净室之界说 洁净室(Clean Room)亦称为无尘室或清净室。 「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。 洁净室最主要之作用在于操控产品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度日及温湿度使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作此空间...
洁净室(无尘室)规范 (一)洁净室之界说 洁净室(Clean Room)亦称为无尘室或清净室。 「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。 洁净室最主要之作用在于操控产品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度日及温湿度使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作此空间咱们叫做「洁净室」。 (二)洁净室之等级 世界各国均有自定规范 但遍及仍是用美国联邦规范 209 为多 以下仅就 209D 及 209E和世界上其它各国拟定规范作介绍与彼此比较。 209E与 209D等最大之不同在于209E表明单位增加了公制单位洁净室等级以‵M字头表明如 M1、M1.5、M2.5、M3..依此类推 合作国际公制单位之规范化 M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5m之微尘粒子数目字以 10 的幂次方表明取指数为之若微尘粒子数介于前后二者彻底幂次方之间则以 1.5、2.5、3.5.表明。 美国联邦规范 FS 209D 都以英制每立方英呎为单位日本则是选用公制即以每立方公尺为单位以 0.1m 微粒子为计数规范。日本规范之表明法以 Class 1Class 2Class 3Class8 表明最好的等级为 Class 1最差则为 Class 8以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 的幂次方取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目 1. 能除掉空气中飘游之微尘粒子。 2. 能避免微尘粒子之发生。 3. 温度和湿度之操控。 4. 压力之调理。 5. 有害化学气体之扫除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁搅扰防备。 9. 安全要素之考虑。 10. 节能之考量。 (四)洁净室之分类 1.乱流式(Turbulent Flow)
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