影响洁净室的气流要素许多，如制程设备、人员、洁净室拼装材、照明用具等，一起关于出产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑要素。
一般操作台或出产设备等外表的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板距离2/3之处，如此可使作业人员作业时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点装备在制程区前方，将成为不妥的气流分流，此刻大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘土将被带到设备后边，作业台因而将遭到污染，良率也必然下降。
洁净室内的气流是左右洁净室功能的首要的要素，一般洁净室的气流速度是选在0.25~0.5m/s之间，此气流速度属和风区域，易受人、机器等的动作而搅扰趋于紊乱、虽进步风速可抑制此一打乱之影响而坚持洁净度、但因风速的进步，将影响作业本钱的添加，所以应在满意规则的要求的洁净度水准之时，能以最恰当的风速供给，以到达恰当的风速供给以到达经济性效果。
(3)并装部分洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上，认为出产之用；洁净作业台、洁净作业棚、洁净风柜即属此类。
洁净作业棚：为在乱流式之洁净室空内以防静电之通明塑料布围成一小空间，选用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高档之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，掩盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风体系回风，尘土随风向排出室外，一般在下贱侧污染较严峻。
(2)笔直层流式：房间天花板彻底以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或作业人员所产生的尘土可快速排出室外而不行能影响其它作业区域。
缺陷：乱流形成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。别的若体系中止作业再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时适当长一段时间。
层流式空气气流运动成一均匀之直线%之过滤器进入室内，并由高架地板或两边隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境运用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
洁净室的洁净度往往遭到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、修建结构等所产生的尘土之移动、分散遭到气流的分配。
洁净室系运用HEPA、ULPA过滤空气，其尘土的搜集率达99.97~99.99995%之多，因而通过此过滤器过滤的空气可说十分洁净。但是洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些产生的尘土一旦分散，即无法坚持洁净空间，因而有必要运用气流将产生的尘土敏捷排出室外。
209E与209D等最大之不同在于209E表明单位添加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表明，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，合作国际公制单位之规范化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表明，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者彻底幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表明。
长处：办理简略，作业开端短时间内即可达安稳状况，不易为作业状况或作业人员所影响。
缺陷：结构费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架适当占空间，修理替换过滤器较费事。
(1)洁净地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或作业区域100%掩盖使洁净度等级进步至10级以上，可节约装置作业费用。此型式需将作业人员之作业区与产品和机器修理予以阻隔，以防止机器修理时影响了作业及质量，ULSI制程大都选用此种型式。
另一方面欲到达洁净室洁净度之安稳效果，均一气流之坚持亦为一首要的要素，均一气流若无法坚持，表明风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面产生涡流效果，此刻要完成高洁净度事实上很困难。
笔直层流式方向要坚持均一气流有必要：(a)吹出面的风速不行有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不行有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象产生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，现在一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
洁净室最首要之效果在于操控产品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作，此空间咱们叫做「洁净室」。
世界各国均有自定规范，但遍及仍是用美国联邦规范209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国拟定规范作介绍与彼此比较。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两边隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状况。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
长处：结构简略、体系制作本钱，洁净室之扩大十分简略，在某些特殊用处场所，可并用无尘作业台，进步洁净室等级。
美国联邦规范FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是选用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数规范。日本规范之表明法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表明，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
洁净室内的作业桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象产生，相对地在其邻近之洁净度将会较差，在作业桌面钻上回风孔，将使涡流现象削减最低；拼装资料之挑选是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要要素。
洁净室的构成是由下列各项体系所组成(在所组成的体系分子中是缺一不行的)，否则将无法构成一完好且质量杰出的洁净室：
洁净室之修建主体结构，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种结构，必定要满意如下之条件：
洁净地道还有二项长处：A.弹性扩大简略； B.修理设备时可在修理区容易履行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程通过的自动出产线围住并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境彼此阻隔，少数之送风即可得到杰出之洁净度，可节约能源，不需人工的自动化出产线为最适合运用。药品、食物业界及半导体业界均适用。
「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功能之特性。
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