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组装式洁净室

电子制造业洁净室的特点及影响因素分析


日期: 2023-12-08 来源:组装式洁净室

  随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动了电子制造业的快速的提升,也带动了洁净室技术的发展。同时对洁净室的设计提出了更高的要求,电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术。只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点,做到设计合理,才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。

  洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。

  其中对湿度的要求尤甚,因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。

  一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。

  芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造业洁净室的重要组成部分。

  由于电子科技类产品在制造、生产的全部过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

  ◆电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

  ◆电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

  ◆电子制造业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和;保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。

  ◆电子制造业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。

  洁净室作为一个庞大的净化系统,面积大的同时,还需要划分复杂的功能分区及相应的缓冲配套间等,共同构成了复杂的送、回风系统。

  厂房整体实施工程质量,空调系统、供气系统、排污系统等保障设备的安装质量与洁净室的洁净度息息相关。

  送、回风口的位置不合理,将会产生较高、较大的涡流,则单向流洁净室的气流偏斜角过大。

  高效过滤器质量上的问题或安装问题导致送入洁净室的空气未经过有效的过滤,空气中悬浮的部分尘埃粒子没有被滤除,导致洁净室内洁净度不合格。

  换气次数不足会导致洁净室内被污染的空气无法快速排出洁净室,过低的换气次数也无法抑制发尘源的污染作用。

  风淋室作为进入洁净室所必需的通道,用来减少进出洁净室所带来的污染问题。因此,它的质量与洁净室的洁净度密切相关。

  室内设备摆放位置不合理会影响洁净室内的气流流向不能够达到由上至下、由中心至四周的正常流向,造成气流紊乱,令污染物不能有效排出洁净室。

  新设备的搬入过程需将洁净室内环境与外界大气连通。因此,需严控设备的搬入时间与搬运安装流程。同时,设备的外包装需经过严格的擦拭清洁后方可搬入。

  原材料中的化学物质以及生产的全部过程中的衍生物均会产生一定的挥发物,对洁净室的洁净度产生影响。

  洁净室运行过程中,人员和物资的运转很容易在污染敏感的活动周围产生空气紊流,是洁净度的主要污染源。

  物资流转量过大,作业人员数量超标,人员洁净服穿着不当等问题,均会造成发尘量超标。

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