洁净室(无尘室)标准docx

  洁净室（无尘室）标准 2006-1-23 （一） 洁净室之定义 洁净室（Clean Room），亦称为无尘室或清净室。 「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、细菌等之污染物排除， 并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制 在某一需求范围内， 而所给予特别设计之房间。 亦即是不论外在之空气条件如何变化， 其 室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度， 使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们叫做「洁净室」。 （二） 洁净室之等级 世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准 209为多，以下仅就209D及 209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E与209D等最大之不同在于 209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以 M字头表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化， M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中 =0.5 ym之微尘粒子数目字以 10的幕次方表 示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幕次方之间，则以 1.5、2.5、3.5…?表 示。 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立 方公尺为单位，以 0.1 ^m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以 Class 1 , Class 2 , Class 3 Class8表示，最好的等级为 Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微 尘粒子总数中化为10的幕次方，取其指数而得。 （三）洁净室控管之项目 能除去空气中飘游之微尘粒子。 能防止微尘粒子之产生。 温度和湿度之控制。 压力之调节。 有害化学气体之排除。 结构物与隔间之气密性。 静电之防制。 电磁干扰预防。 安全因素之考虑。 节能之考量。 （四）洁净室之分类 乱流式（Turbulent Flow）: 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器 （HEPA）进入洁净室，并由洁净室两侧 隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。 此型式适用 于洁净室等级 1,000-100,000级。 优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充非常容易，在某些特殊用途场所，可 并用无尘工作台，提高洁净室等级。 缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出， 易污染制程产品。另外若系统 停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 层流式(Laminar): 层流式空气气流运动成一均匀之直线%之过滤器进入室内，并 由高架地板或两侧隔墙板回风， 此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用， 一般其洁 净室等级为 Class 1~100。其型式可分为二种： 水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘 埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 优点：构造简单，运转后短时间之内即可变成稳定。 缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 垂直层流式：房间天花板完全以 ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高 之洁净度，在制程中或工作人员所 产生的尘埃可快速排出室外而不可能影响其它工作区域。 优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态， 不易为作业状态或作业人员所 影响。 缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤 器较麻烦。 复合式(Mixed Type): 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。 洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域 100% 覆盖使洁净度等级提高至 10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作 区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质， ULSI制程大都采 用此种型式。 洁净隧道另有二项优点： A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。 洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理， 将洁净度 等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好 之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导 体业界均适用。 并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000 之乱流洁净室内之 产品制程区的洁净度等级提高为 10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工 作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级 Class 1~100 级。 洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间， 采用 独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为 10~1000 级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮， 可为弹性运用。 洁净室气流之流动 洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生 的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达 99.97~99.99995%之多， 因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。 然而洁净室内除了人以外， 尚有机器等之发 尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃 迅速排出室外。 洁净室内的气流是左右洁净室性能的主要的因素，一般洁净室的气流速度是选 0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽 提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、 但因风速的提高，将影响运转成本的增加， 所以应在满足规定的要求的洁净度水准之时， 能以最适当的风速供应， 以达到适当的风速供应以 达到经济性效果。 另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果， 均一气流之保持亦为一主要的因素， 均一气 流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实 现高洁净度事实上很困难。 垂直层流式方向要保持均一气流必须： (a)吹出面的风速不可有速度上的差异； (b)地 板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高 (0.2m/s，0.7m/s)均有涡流 之现象发生，而 0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在 0.25~0.5m/s 之间。 影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时 对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点， 应设于洁净室空间与隔墙板间距 2/3之 处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流 点配置在制程区前方， 将成为不当的气流分流， 此时大部份的气流将流至制程区之后， 作 业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。 洁净室内的工作桌等障碍物， 在相接处均会有涡流现象发生， 相对地在其附近之洁净 度将会较差，在工作桌面钻上回风孔， 将使涡流现象减少最低； 组装材料之选择是否恰当、 设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之主要的因素。 洁净室之构成 洁净室的构成是由下列各项系统所组成 (在所组成的系统分子中是缺一不可的 )，否则 将无法构成一完整且品质良好的洁净室： 天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁 (Cei ling grid 或 Ceilingframe)。 空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。 隔墙板(Partitional wall):包括窗户、门。 地板：包括高架地板或防静电舒美地板。 照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。 洁净室之建筑主体构造， 一般是用钢筋或骨水泥， 但无论是何种构造， 一定要满足如下 之条件： 不会因温度变化与振动而发生裂痕； 不易产生微尘粒子，且很难附着粒子； 吸湿性小； 为维持室内之湿度条件，热绝缘性要高； 当然，我们也不否认一见钟情，就不能天长地久，但不是所有的人，都有这么好的福气，遇到愿意疼你爱你，陪你在俗世烟火里细水长流的人。 让你心动的，不一定可以陪你一生到老，只有愿意陪你在柴米油盐酱醋茶里，过平淡生活的人，才是你最终的选择。 我们很多人，心里都有一颗浪漫的种子，只是有的种子不断发芽，抽枝，最后长成了一棵参天大树。密匝的情感叶子，遮挡住了现实的视线，沉迷在浪漫的追求之中，不得自拔。 都说婚姻，是一座围城，它围住了你的某一些欲望，尤其对浪漫的欲望。假如没有婚姻这座围城，那么关于性，人和低级动物，就没有了区别。那么你的人生，可真谓是乱七八糟。 别一直去询问对方爱不爱你，嘴巴上的甜言蜜语，解决不了现实的残忍。 时间，是最好测量感情的仪器。只有相互懂得和理解，感情才会不被时间扼杀，谁都渴望心底深处的浪漫。但是浪漫，只能做为一种生活情趣，而不是生活的全部。 浪漫的感情，是相辅相衬的，需要的是相互的平衡，只有一个人默默付出，那么必定会失败。 看过这样一个故事，一个女孩和一个男人浪漫的相爱了，于是他们一起步入了婚姻的殿堂。 婚后的感情，开始也是和婚前一样甜蜜浪漫，幸福。她在他的眼里，苗条、美丽、活泼可爱，让他如痴如醉；他在她的眼里，正直、淳朴、深情是她的爱之所至。只是浪漫也会跟着时间 的迁移逐渐消减。 她变得迷恋家，迷恋美好的生活，而他却开始为了工作，疏忽她。她犯娇发嗔，他开始不断解释，她不断的原谅，吵闹之后他又开始我行我素。他们的浪漫爱情花，是凋落了吗？ 应该不是，而是真实的生活，告诉他浪漫不能当饭吃，柴米油盐的日子，也必须工作。所以说，婚姻，实际上的意思就是一种责任。虽然说谈金钱，是庸俗的，可是没有金钱，拿什么来浪漫？ 尽管爱你，可是也必须工作。有一位西方作家说： 纯洁真挚的爱情，是最伟大的，最宝贵的财富。 ”无论是妻子还是老公，不光需要浪漫的爱情和温存，更加需要谅解、寄托和信念。也 只有如此，你的生活才会过的满足而丰满。 漫漫人生路，需要在简单中领悟幸福和浪漫的深切道理。在困境之中相互帮扶，在有足够支撑你浪漫的时候，日子，既要蕴含高雅的诗情画意，也要接受俗世的人间烟火味。 恋爱和婚姻，还是有着本质的差别。恋爱的时候，是两个人的事情，不在乎父母朋友是否反对，只要觉得快乐浪漫就好。 很多时候恋爱也会让人忘乎所以，法国著名的数学家帕斯卡对爱情，有这样一个描述：伟大的灵魂一旦开始恋爱，就超乎寻常的热烈。

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