洁净室施工及检验收取规范2022版收集pdf

  现批准《洁净室施工及检验收取规范》为国家标准。编号为 ．6．11 5．5 ．6 GB50591-2010。2011 年 02 月 01 日起实施。其中第 4 、 、 5．5．7、5．5．8、5．6．7、6．3．7、6．4 ．1、11．4 ．3 条 文为强制性条文，必须严格执行。原《洁净室施工及检验收取规范》 JGJ71-90 同时废止。 一，编制情况简介 本规范由中国建筑科学研究院会同国内有关科研、 高校、设计、 施工等单位共同编制。 《洁净室施工及检验收取规范》修订编制组于 2006/12/26 在北京召 开启动大会起，在 22 个月的时间里，开了 5 次调研座谈会，聘请了 20 多位专家、基建负责人等作为顾问，开了两次座谈会。组织 40 余 人次，针对重点或难点开展了 9 项专题实验和研究， 完成了 9 篇报告、 论文： 编制组进行了广泛的收集、查阅资料工作，若干参编单位提供 了本单位的标准、操作规程或具体技术资料。 编制组对 ISO 系列标准、 欧盟与 WHO的 GMP、美国 FDA手册、美国微电子污染控制手册、美国 制药工程指南、 瑞士加拿大等国家的兽药生物安全设施手册以及国内 关于微振、噪声、防静电、施工安装等文献、手册和国内 29 项标准 规范，进行了认真的研究，获得了丰富的信息，提取了对规范有用的 材料。 2007 年 11 月应台湾中华洁净学会和相关企业的邀请，组织编 会、报告会，参观了净化工厂，同时进行了海峡两岸关于洁净室施工 安装的技术交流。 在各参编单位积极按分工计划完成了有关章或节的草稿基础 上，于 2008 年 3 月底完成规范的第一轮草稿。经过 4 次讨论会和草 稿定稿会，于 2008 年 7 月底草稿定稿，又经过主编单位多次组织技 术人员讨论，于 2008 年奥运会期间完成征求意见稿。按照程序，征 求意见稿已上网广泛征求意见，并专门由电子邮件或逐件发送给近 30 几位专家和管理人员， 或进行了面对面交流。 征求意见稿已回收了 20 份意见表， 征 集了 166 条修改意见，采纳的共 114 条，占％。征求意见稿至送审稿 又三易其稿，改动 300 余处。 编制组经广泛调查研究，多方征求意见，并收集整理国内外在 洁净室施工验收方面的标准和有关的资料。 认真总结 《洁净室施工及验 收规范》 JGJ71-90 实施以来在洁净室施工及验收方面的经验教训， 对其中一些主要内容和指标进行了研究、 实验和论证， 最后经审查定 稿。 本规范共 17 章（652 条，其中强制条文 8 条）和 8 个附录。主 要内容有：总则、术语、建筑结构、建筑装饰、风系统、气体系统、 水系统、化学物料供应系统、配电系统、自动控制系统、设备安装、 消防系统、屏蔽设施、防静电设施、施工组织与管理、工程检验、验 收。 以说： 吸取了国外先进经验，总结了国内在贯彻 JGJ71-90 标准 20 年 来的实践经验，通过科学工作者的理论升华后的一份总结。 立足国情，接轨国际；软硬兼备，重物重人；技术先进，论理 合理；过程控制，切实可行。从而实现科学性、先进性、协调性、可 操作性。 （三）主要条文解释： 1 总则： 1．0 ．1 为在洁净室及相关受控环境（第 3 章起简称洁净室）的施 工及验收中，贯彻国家有关的方针政策，规范施工要求，统一检验方 法，明确验收标准，以保证施工和安装质量，节能、节材、节水、保 护环境和安全操作的目的，制订本规范。 1．0 ．2 本规范适用于新建和改建的、整体和装配的、固定和移 动的洁净室及相关受控环境的施工及验收。 1．0．3 洁净室及相关受控环境的施工及验收应符合下列规定： 1. 由具有建设主管部门批准的 专业资质 的施工企业，按批准的文 件和图纸施工， 施工人员均应经过有关洁净室的施工、 检验收取规范的培 训及考核， 特殊工种应持有上岗证， 并应由具有专业监理资质和经过 专业培训的监理机构实行全过程监理。 2. 施工前应制订详尽的施工组织设计。施工中各工种之间应密切 配合，按程序施工。没有图纸、技术要求和施工组织设计的工程项目 有竣工图纸 的工程项目 不应进行性能验收。 3. 工程所用的材料、设备、成品、半成品的规格、型号、性能及 技术指标均应符合设计和国家现行有关标准的要求。 并有齐全合法的 质量证明文件。 对质量有疑义的， 必须进行检验。 过期材料不得使用 。 4. 分部分项工程或工程中的复杂工序施工完毕后，应进行分项验 收，分项验收不合格的必须返工直至合格，并记录备案。 1．0．4 本规范应与现行国家标准《建筑工程质量验收统一标准》 GB50300严格配套使用。 施工及验收，除执行本规范外，还应符合其他关标准和规范的规定。 2 术语 3 主体结构与装饰 4 ，建筑装饰 3．1．2 在主体结构未经验收前，不得进行后续工序的施工。 1，主体结构不管现浇板还是砌体或钢结构均不得有渗漏现象；工 艺接缝堵封严实， 对填充墙应与周围结构是否严密接触， 并全数检查。 洁净室建筑装饰施工应与其他工种制订明确的施工协作计划和施工 程序。 2， 洁净室的装饰材料除应满足隔热、隔声、防振、防虫、防腐、 防火、防静电等要求外，尚应保证洁净室的气密性和装饰表面不产 尘、不吸尘、不积尘，并应易清洗。 3，不应使用木材和石膏板直接做饰面。隐蔽使用的木材应经充分 干燥并做防潮防腐和防火处理，石膏板应为防水石膏板。 采取有效的防止粉尘扩散的措施。 5，施工现场的环境温度不宜低于 5℃。当在低于 5℃的环境温度 下施工时， 应采取保证施工质量的措施。对有特殊要求的装饰工程， 应按设计要求的温度实施。 6，地面做好防水，不得有空鼓、脱皮、起砂、裂痕等现象，且平 整。地面含水率≤ 4 ％，粘贴塑胶软地面的基础地面含水率应≤ 7％， 制做时环境温度应≥ 10℃，相对湿度不得大于 80%。涂布地面施工， 环境温度宜不低于 20℃，相对湿度应低于 85%。 7，墙面：不分新老建筑，不得有渗漏现象，基面干净，且表面 应平整、洁净、色泽一致，无裂痕和缺损，伸缩变形缝应用弹性材 料填实磨平。阴阳角应用弧形过渡。装配式的结构其 金属面板与骨 架的连结应留够面板间热胀冷缩的量。金属面板背面应贴绝热 层，与骨架之间应有导静电措施。焊接处、连接部位应作好防 腐、防锈处理； 如需现场喷涂， 每层喷涂应一次完成， 并注意防火 。 8 ，吊顶施工不管是新旧建筑都应在基底作业完成后且现场清洁、 表面涂界面剂和涂刷涂料后，并在吊顶内各项隐藏工程验收、交接 后进行施工。 墙面与地面过渡如下 整体墙角的圆弧做法 型材过渡墙角的圆弧做法 9 ，门窗安装应构造应平整简洁、不易积灰、容易清洁；表面应 付，缝隙应密封，窗面应与洁净室内墙壁表面齐平。 产生化学、放射、微生物等有害气溶胶或易燃、易爆场合的 观察窗，应采用不易破碎爆裂的安全材料制作。 10，对做密封胶工作的要求： 密封界面应清理干净。 嵌缝材料应 选择不含刺激性挥发物、耐老化、抗腐蚀的中性材料，用于表面的 应加抑菌剂。不同装饰材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适 当宽度和深度的槽口或缝隙 。 中间验收：检查原材料是否符合设计要求，检查材料出厂检验报告、 质量合格保证文件和材料进场检验报告。 主控项目 1， 有防火、防腐、强度安全等要求的材料、构件、部件和处理方 法均应严格符合设计要求。 2，混凝土结构表面应平整、无裂缝、无麻面、无掉皮、无起沙。 检验方法：检查构件清单和检验报告。 检验数量：全部。 3，是否符合设计要求； 4，对照规范条文逐条进行。 5 风系统 5 ．1 一般规定 5．1．1 洁净室风系统的施工安装应制订协作进度计划，与土建 及其他专业工种相互配合、协调，按程序施工。 和易清洁的原则。 5．1．3 洁净室风系统在制作与安装前应对施工图仔细审核。如 需要施工单位深化设计，应得到原设计单位的书面同意。 5．2 风管和配件制作 1，风管制作与安装所用板材、型材以及其他主要成品材料，应 符合设计要求，并应有出厂检验合格证明。材料进场时应按国家现 行有关标准验收。 风管应选用节能、高效、机械化加工的工艺。 成品供应的风管应包装运输，并应具有材质、强度和严密性的合 格证明。 非金属风管应提供防火及卫生检测合格证明。 过滤器（高效过滤器）之前的风管材料应选用镀锌钢板或不覆油 镀锌钢板。末级过滤器之后的风管材料宜用防腐性能更好的金属板 材或不锈钢板。有防腐要求的排风管道应采用不产尘的、不低于难 燃 B1 级的非金属板材制作，若有面层，面层应为不燃材料。 2，镀锌钢板的镀锌层应在 100 号以上（双面三点试验平均值不 应小于 100g/ ㎡），其表面不得有裂纹、结疤、划伤，不得有明显氧 化层、针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷。不锈钢板应为奥氏体 不锈钢材料，其表面不得有明显划痕、斑痕和凹穴等缺陷。 风管板材存放处应清洁、干燥。不锈钢板应竖靠在木支架上。不 锈钢板材、管材与镀锌钢板、管材不应与炭素钢材料接触，应分开 风管制作应有专用场地，其房间应清洁，宜封闭。工作人员应 穿干净工作服和软性工作鞋。 卷筒板材或平板材在制作时应使用无毒性的中性清洗液并用清 水将表面清洗干净，应无镀层粉化现象。不覆油板材可用约 40℃的 温水清洗，晾干后均应用不掉纤维的长丝白色纺织材料擦拭干净。 不锈钢板焊接时，焊缝处应用低浓度的清洁剂擦净。 风管不得有横向拼接缝， 矩形风管底边宽度小于或等于 900mm时， 其底边不得有纵向拼接缝，大于 900mm且小于或等于 1800mm时，不 得多于 1 条纵向接缝，大于 1800mm且小于或等于 2600mm时，不得 多于 2 条纵向接缝。 3，输送无害空气的风管，应用咬接成型。风管板材的拼接和圆形 风管的闭合缝可采用单咬口；弯管的横向连接缝可采用立咬口；矩 形风管成形咬缝可采用联合角咬口。风管不应采用按扣式咬口。咬 口缝都必须涂密封胶或贴密封胶带，在正压面实施，特殊的尺寸狭 小空间或受力状况多变和运动中的受控环境以及输送特殊介质的， 按设计可以采用金属螺旋形风管或金属、非金属软管。 5．2 ．12 风管加工和安装严密性的试验压力， 总管采用 1500Pa， 干管（含支干管）可采用 1000Pa， 支管可采用 700Pa； 也可采用工作压力作为试验压力。 之前，按附录 A 的方法进行分段漏风检测或按国家现行标准《通风 与空调工程施工质量验收规范》 GB50243 的方法进行干管和主管系 统的漏风检测。 1-5 级洁净度环境的风管应全部进行漏风检测； 6-9 级洁净度环境的风管应对 30%的风管并不少于 1 个系统进行漏 风检测。 见下图 图 A 实验装置原理图 1. 有压气源（或现成的漏风检测装置） 2. 调节阀 3. 流量计 4. 压力表 5. 风管 6. 盲板 检测结果应同时符合下列两项严密性指标： 单位风管展开面积漏风量应符合表 5.2.13-1 的规定。 3 表 5.2.13-1 金属咬接矩形风管单位展开面积最大漏风量（ m / 2 h ·m） 2 h ·m） 总管（连接风机出、入口的管 1500 × = 段） 或工作压力 P × P 0.65 1000 × = 或工作压力 P × P 0.65 干管（连接总管与支管或支干 700 ×= 管的管段） 或工作压力 P × P 0.65 支管（连接风口的管段，包括 接头短管） 或支干管 注：圆形金属咬接和法兰连接风管以及非咬接、非法兰连接风 管的漏风量按表中数值的 50%计算。 由本条第 1 款得出的漏风量计算得到的系统允许漏风率应符 合表 5.2.13-2 的规定。 表 5.2.13-2 系统允许漏风率ε（漏风量 / 设计风量） 洁净室类别 合格标准 非单向流 ε≤2% 单向流 ε≤1% 5.2.14 排放含有害化学气溶胶和致病生物气溶胶空气的风管应用 应为零。 5.2.15 物料收集的排风管材料应无毒、不吸附、耐腐蚀，宜采用低 炭不锈钢；食品级、医用级的管道宜采用 304 或 316 不锈钢。管道 应顺直、避免死角、盲管，连接风机进出口的管段应做到气流顺畅。 5.2.16 风管内表面应平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。 5.2.17 不应从总管上开口接支管，总管上的支管应通过放样制作成 三通或四通整体结构，转接处应为圆弧或斜角过渡。 5.2.18 加工镀锌钢板风管不应损坏镀锌层，若有损坏，损坏处（如 咬口、折边、焊接处等）应刷涂优质防锈涂料两遍。 5.2.19 法兰和管道配件螺栓孔不得用电焊或气焊冲孔，孔洞处应涂 刷防腐漆两遍。 5.2.20 风管与角钢法兰连接时，风管翻边应平整，并紧贴法兰，宽 度不应小于 7mm，并剪去重叠部分，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。 5.2.21 当用于 5 级和高于 5 级洁净度级别场合时，角钢法兰上的螺 栓孔和管件上的铆钉孔孔距均不应大于 65mm，5 级以下时不应大于 100mm。薄壁法兰弹簧夹间距不应大于 100mm，顶丝卡间距不应大于 100mm。矩形法兰四角应设螺栓孔， 法兰拼角缝应避开螺栓孔。 螺栓、 螺母、垫片和铆钉应镀锌。如必须使用抽芯铆钉，不得使用端头未 封闭的产品，并应在端头胶封。 5.2.22 在新风经过三级过滤（末级为高中效或亚高效过滤器） 、回 风口上安有细菌一次通过率和尘埃按重量一次通过率均小于 10％的 管上开清扫孔，清扫孔设于每 20m~30m长的直管段端头，清扫孔的 门应严格密封、绝热。过滤器前后应设测尘测压孔，系统安装后必 须将测尘测压孔封闭。 5.2.23 静压箱内固定高效过滤器的框架及固定件、 风阀及风口上活 动件、固定件、控杆等应做镀锌、镀镍等防腐处理。 5.2.24 风管和部件制作完毕应擦拭干净， 并应将所有开口用塑料膜 包口密封。 5．3 风管安装 5.3.1 风管安装应在土建作业完成后进行。安装人员应穿戴清洁工 作服、手套和工作鞋。 5.3.2 法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘、多孔且闭孔的 材料制作。不得采用乳胶海棉、泡沫塑料、厚纸板等含开孔孔隙和 易产尘、易老化的材料制作。密封垫厚度宜为 5mm~8mm，一个系统 法兰的密封垫的性能和尺寸应相同。不得在密封垫表面刷涂料。 5.3.3 法兰密封垫宜减少接头，接头应采用阶梯形或企口形并避开 螺栓孔（图），也可采用连续灌胶成型或冲压一体成型的密封垫。 图 5.3.3 法兰密封垫接头 对接：不正确 梯形接：正确 1. —密封垫 2. —密封胶 密封垫应擦拭干净后涂胶粘牢在法兰上，不得拉抻，不得有隆 5.3.4 法兰上各螺栓的拧紧力矩应大小一致，应对称逐渐拧紧，安 装后不应有拧紧不匀的现象。 5.3.5 柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气、不产 生静电和有稳定强度的难燃材料制做，安装应松紧适度、无扭曲。 安装在负压段的柔性短管应处于绷紧状态，不应出现扁瘪现象。柔 性短管的长度宜为 150mm~300mm，设于结构变形缝处的柔性短管， 其长度宜为变形缝的宽度加 100mm以上。不得以柔性短管作为找平 找正的连接管或变径管。 5.3.6 当柔性短管用单层材料制做时，光面应朝里。当在管内气温 低于管外气温露点条件下使用时，应采取绝热措施或采用带绝热层 的成品。如采用双层材料制做柔性短管，内、外表面应为光面。 5.3.7 风管和部件应在安装时拆卸封口，并应立即连接。当施工停 止或完毕时，应将端口封好，若安装时封膜有破损，安装前应对风 管内壁再擦拭干净。 5.3.8 风管在穿过防火、防爆墙或楼板等分隔物时，应设预埋管或 防护套管。预埋管或防护套管钢板壁厚不应小于，风管与套管之间 空隙处应用对人无害的不燃的柔性材料封堵， 然后应用密封胶封死， 表面最后应进行装饰处理。 5.3.9 非金属风管穿墙时必须外包金属套管。硬聚氯乙烯风管直段 连接长度大于 20m 时，应有用软聚氯乙烯塑料制作的伸缩节，两者 应焊接连接。 末端宜设凝结水收集装置。 5.3.11 擦拭风管内表面应采用不掉纤维的长丝白色纺织材料。 5.3.12 风管系统不得作为其他负荷的吊挂架， 支风管的重量不得由 干管承受，送风末端应独立设可调节支吊架。 5.3.13 风管绝热材料不应采用易破碎、 掉渣和对人体有刺激作用的 物质。 部件和配件安装 5.4.1 风阀、消声器等部件安装时应消除内表面的油污和尘土。 5.4.2 穿过阀体的旋转轴应与阀体同心，其间应设有防止泄漏的密 封件。阀的各部分表面应镀锌、镀铬或喷塑处理，叶片及密封件表 面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。拉杆阀不应安装在 风道三通处。 （主要防止漏风） 5.4.3 风管内安装的定、变风量阀，阀的两端工作压力差应大于阀 的启动压力。入口前后直管长度不应小于该定风量阀产品要求的安 装长度，安装方向与指示相同。 5.4.4 防火阀的阀门调节装置应设置在便于操作及检修的部位，并 应单独设支、吊架。安装后必须检查易熔件固定状况。必要时易熔 件也可在各项安装工作完毕后再安装。阀门在吊顶内安装时，应在 易检查阀门开闭状态和进行手动复位的位置开检查口。 5.4.5 消声器、消声弯头在安装时应单独设支、吊架。 5.4.6 对有恒温要求的系统，消声器外壳与风管应作绝热处理。 5.4.8 消声器内充填的消声材料应不产尘、 不掉渣 （纤维）、不吸潮、 无污染，不得用松散材料。消声材料为纤维材料时，纤维材料应为 毡式材料并应外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和 离心玻璃棉。 5.4.9 消声直段应安装在气流平稳的直管段上。 （注意两件之距离） 5.4.10 净化空调系统绝热工程施工应在系统严密性检验合格后进 行。 5.4.11 风管及部件绝热材料应采用有检验合格证明的不燃或难燃 材料，宜用板材粘贴形式，并宜加防潮层。 5.4.12 不得在绝热层上开洞和上螺栓。 风阀和清扫孔的绝热措施不 应妨碍其开关。 5.4.13 当绝热风管位于室外时， 应在管外增设防晒、 防雨淋保护壳。 风口的安装 5.5.1 安装系统新风口处的环境应清洁，新风口底部距室外地面应 大于 3m，新风口应低于排风口 6m 以上。当新风口、排风口在同侧 同高度时，两风口水平距离不应小于 10m，新风口应位于排风口的 上风侧。 5.5.2 新风入口处最外端应有金属防虫滤网，并应便于清扫其上的 积尘、积物。新风入口处应有挡雨措施，净通风面积应使通过风速 在 5m/s 以内。 5.5.3 新风过滤装置的安装应便于更换过滤器、检查压差显示或报 5.5.4 回风口上的百叶叶片应竖向安装。宜为可关闭的，室内回风 口有效通风面积应使通风速度在 2m/s 以内，走廊等场所在 4m/s 以 内。当对噪声有较严要求时， 上述速度应分别在 1.5m/s 以内和 3m/s 以内。 5.5.5 回风口的安装方式和位置应方便更换回风过滤器。 5.5.6 为过滤有害气溶胶，在回、排风口上安有高效过滤器的洁净 室及生物安全柜等装备，在安装前应用现场检漏装置对高效过滤器 扫描检漏，并应确认无漏后安装。回、排风口安装后，对非零泄漏 边框密封结构，应再对其边框扫描检漏，并应确认无漏；当无法对 边框扫描检漏时，必须进行生物学等专门评价。 5.5.7 当在回、排风口上安装动态气流密封排风装置时，应将正压 接管与接嘴牢靠联接，压差表应安装于排风装置近旁目测高度处。 排风装置中的高效过滤器应在装置外进行扫描检漏，并应确认无漏 后再安入装置。 5.5.8 当回、排风口通过的空气含有高危险性生物气溶胶时，在改 建洁净室拆装其回、排风过滤器前必须对风口进行消毒，工作人员 人身应有防护措施。 5.5.9 当回、排风过滤器安装在夹墙内并安有扫描检漏装置时，夹 墙内净宽不应小于。 送风末端装置的安装 高效过滤器或其送风末端装置应在系统新风过滤器与中效过滤器安 底清洁、对风管空吹 12h 之后安装。 5.6.2 系统空吹时，宜关闭新风口采用循环风，并在回风口设置相 当于中效的预滤装置（如挂无纺布或设过滤器） ，全风量空吹完毕后 撤走。 5.6.3 空吹完毕后应再次清扫、擦净洁净室，然后立即安装高效过 滤器或带高效过滤器的送风末端装置。 5.6.4 安装前的高效过滤器或其送风末端装置应存放在干净的室 内，并应按生产厂的标志方向搁置，叠放不应多于三层。 5.6.5 高效过滤器或其送风末端装置不得在安装前拆下包装。拆下 包装后，首先应进行下列检查： 1. 应检查产品合格证、 出厂检验报告， 其中应有效率、 阻力和扫 描检漏的实测数据，不得以过滤器所属类别定义数据代替。 2. 应进行外观检查，内容应包括有无损坏；各种尺寸是否符合 设计要求；框架有无毛刺和锈斑（金属框） ；带风机的风机安装是否 可靠，转动是否正常；带装饰网或阻漏层的，装饰网或阻漏层是否 完好、绷紧。 5.6.6 高效过滤器或其送风末端装置安装前，应再次检查承载高效 过滤器或其送风末端装置的框架开口尺寸，开口尺寸不得大于高效 过滤器或其送风末端的边框内净尺寸， （图）。 图 5.6.6 过滤器安装尺寸 A. 过滤器边框内净尺寸 B. 框架开口尺寸， B＜A 5.6.7 用于以过滤生物气溶胶为主要目的、 5 级或 5 级以上洁净室 或者有专门要求的送风高效过滤器或其末端装置安装后，应逐台进 行现场扫描检漏，并应合格。 5.6.8 5 级以下以过滤非生物气溶胶为主要目的的洁净室的送风高 效过滤器或其末端装置安装后应现场进行扫描检漏，检漏比例不应 低于 25％。扫描高效过滤器现场检漏方法可按附录 E 的方法执行。 5.6.9 高效过滤器和框架之间采用密封垫密封、负压密封、液槽密 封、双环密封和动态气流密封等方法时，都应将填料表面、过滤器 边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。不得在高效过滤器边框与框 架之间直接涂胶密封。 5.6.10 采用密封垫时，压缩率宜为 25%~30%，不得将密封垫压死。 密封垫材质和接头形式应符合本规范第条的规定。当用螺栓、压块 压紧密封垫时，四角应压紧，不得只压边框中点。当过滤器尺寸大 于 320mm时，应至少采用四角 8 点压紧。 5.6.11 采用液槽密封时， 液槽内的液面高度应符合设计要求或不超 过槽深 2/3 ，框架各接缝处不得有渗液现象；采用双环密封条时， 粘贴密封条时不应把环腔上的孔眼堵住；双环密封、负压密封、动 态气流密封都应保持负压或正压管、槽畅通；采用阻漏层和风机过 滤器单元（ FFU）时，边框不应用胶封，应设柔软隔层使其处于自然 压紧状态。 垂直安装（包括码放）时，滤纸折痕缝应垂直于地面。 5.6.13 高效和亚高效过滤器安装过程中，室内不得进行带尘、产尘 作业，安装完后应用塑料薄膜将出风面封住，暂时不上扩散板等装 饰件。 6 气体系统 洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于 1MPa洁净的和高纯的 永久气体（ 临界温度低于 - 10℃的气体 ）、特种气体、医用气体、可燃气体、 惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。 1， 管材及附件 气体系统管道材质及附件， 应按设计要求选配， 如设计未作明确要求， 选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应， 并应符合下列 规定： 1. 应使用无缝管材。 2. 管材内表面吸附、解吸气体的作用小。 3. 管材内表面应光滑、耐磨损。 4. 应具有良好的抗腐蚀性能。 5. 管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。 6. 负压管道不宜采用普通炭钢管。 所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹 渣、起瘤、 折叠、重皮、锈斑、 表面损伤等缺陷。 管道应平直、圆滑。 成品管外包装和相应管端头的管帽、 堵头等密封措施应有效、 无破损。 烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯。 高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件， 但在不锈钢材质的管路中， 不应采用铜质的附件。 2 ， 管道系统安装 管道安装前应进行以下准备工作： 1. 配管下料时应采用“等离子切割”或专用切割锯、割管刀 等工具，不应采用氧乙炔焰切割，不得涂抹油脂或润滑剂。 2. 管道切口应与管轴线垂直，切口表面应平整、无裂纹，应 去除毛刺。 3. 在主管道上连接支管或部件时，宜用成品连接件。 4. 普通不锈钢管应在工厂的清洗槽中用酸洗液清洗后再用 清水冲洗干净。 5. 氧气管道及附件，安装前应按相关规定方法进行脱脂，脱 脂应在远离洁净室的地点进行， 并做好操作人员的安全与环境保 护工作。 管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，应敷设在人员不 易碰撞的高度上， 否则应有防护设施。 输送干燥气体的管道宜无 坡度敷设；真空吸引管道和含湿气体管道的坡度宜大于或等 于％，坡向真空泵站或冷凝水收集器。 不锈钢管道应采用氩弧焊焊接连接，焊接时管内应充氩气保 有接地要求的管道，法兰间必须接有多芯导电跨线。 穿过围护结构进入洁净室的气体管道，应设套管，套管内管 材不应有焊缝与接头，管材与套管间应用不燃材料填充并密封， 套管两端应有不锈钢盘型封盖。 高纯气体管道的安装， 除应符合以上有关条款规定外， 还应符 合下列规定： 1. 经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前应采取保护措施， 严防二次污染。 2. 管道预制、分段组装作业，不得在露天环境中进行。 3. 分段预制或组装的管段完成后两端应用膜、板等封闭。 4. 高纯气体管道为无缝铜管时，应采用承插式硬钎焊焊接。 焊接紫铜管时应按国家现行标准《磷铜钎料》 GB/T6418-93 要求 选用磷铜钎料； 焊接紫铜与黄铜管时宜按国家现行标准 《银基钎 料》 GB10046-88 要求，选用 HL304 含银量为 50％的银基钎料。 管内应通入与工艺气体同等纯度的氮气作为保护气体并吹除， 不 宜用沾水纺织材料擦拭。 5. 高纯气体管道如无法避免用螺纹连接时，宜在铜与铜、铜 与铜合金附件外螺纹上均匀挂锡， 非氧气管道宜采用聚四氟乙烯 带缠绕管口螺纹。 6. 不锈钢管、铜管应冷弯，弯管半径宜大于等于 5 倍管材外 径；管壁不得起皱。 或半自动热焊机焊接连接。两管对接面错边不应大于 1mm。不同 壁厚的管子不得对焊， 热焊接连接时应采取保护环境和人员安全 的措施。 8. 管道系统支架间距应小于普通气体管道的支架间距，并应 采用吊架、弹簧支架、柔性支撑等固定方式。不锈钢管与炭钢支 架之间应垫入不锈钢或氯离子含量不超过 25×10-6 （25ppm）的 非金属垫层。 9. 洁净室内高纯气体与高干燥度气体管道应为无坡度敷设， 不考虑排水功能，终端应设放气管。 医用气体管道安装后应加色标。不同气体管道上的接口应专 用，不得通用。 3 ， 管道系统的强度试验 可燃气体和高纯气体等特殊气体阀门安装前应逐个进行强度 和严密性试验。 管路系统安装完毕后应对系统进行强度试验。 强 度试验应采用气压试验， 并应采取严格的安全措施， 不得采用水 压试验。 当管道的设计压力大于时， 应按设计文件规定进行气压 试验。 气压试验应采用洁净度与洁净室等级匹配的惰性气体或压缩空气 进行，试验压力为设计压力的 1. 15 倍。 试验时应逐步缓慢增加压力，当压力升至试验压力 50％时，如未发 现异常与泄漏，继续按试验压力的 10％逐级升压，每级稳压 3min， 查漏工作的需要而定，以发泡剂检验无泄漏为合格。 真空管道的气压试验压力应为。 当管道输送的介质为“有毒气体”、“腐蚀性气体”、“可燃气 体”时，应进行最高工作压力下的泄漏试验。对管段之间焊接接头、 管路的分支接头、阀门的填料、法兰或螺纹的连接处，包括全部金属 隔膜阀、波纹管阀、调节阀、放空阀、排气阀等，应以发泡剂检验不 泄漏为合格。 经过气压试验合格的系统， 试验后未经拆卸， 该管路系统可不再 进行泄漏试验。 真空管道在强度试验与泄漏试验合格后， 应在系统联动运转前， 以 设计压力进行真空度试验。 试验宜在气温变化较小的环境中进行， 试 验时间应为 24h，增压率不应大于 3％。 4 ， 管道系统的吹除 气体管道各项试验合格后， 应使用与洁净室洁净度级别匹配的洁净无 油压缩空气或高纯氮气吹除管内污物，吹除气流流速应大于 20m/s， 直至末端排出气体在白纸上无污痕为合格。 管道吹除合格后，应再以实际输送的气体，在工作压力下，对管道 系统进行吹除， 应无异常声音和振动为合格。 输送可燃气体的管道在 启用之前，应用惰性气体将管内原有气体置换。 瓶装气体供给装置应安装在使用洁净室之外的房间， 两室之间穿墙 的管道应加套管，并应在管道与套管间隙填满不燃材料并加密封。 装置出口管道上的安全阀在安装前应进行阀门开启检查。开启压 力、密封压力和回座压力应符合安全阀性能要求。 集中式真空吸引装置应安装在远离洁净室的建筑物外， 安装时应采 取有效隔声防振措施， 与其连接的弯管半径不应小于 5 倍管外径， 过 滤清除设施应安在排气口。 6 ， 中间验收 气体管道应在气密性测验合格后进行泄漏率检查， 应以设计压力保持 24h 后，泄漏率不超过 %为合格。允许堵漏后再试验。 P 2 T 1 100 A 1 P T 24 1 2 式中： A —泄漏率 P1 、P2—试验开始和结束时的绝对压力（ MPa）； T1、T2—试验开始和结束时的绝对温度（ 0 K）。 7 水系统 洁净室的水系统施工包含工艺用水系统、 空调用水系统和局部生活用 水系统的给水与排水系统的施工与验收。 1 ，给水 污染区域特别是微生物污染区域内的供水管，不得与用水设备直 接相连，必须有空气隔断， 配水口应高出用水设备溢出水位，间隔不 流防止器， 供水管上还应设关断阀， 供水管上的倒流防止器和阀门应 设在清洁区。 洁净区的给水管道应涂上醒目的颜色， 或用挂牌方式， 注明管道内 水的种类、用途、流向等。 生活用水系统不应采用镀锌钢管，可选用给水塑料管、不锈钢管、无缝钢管，工艺和空 调给水系统应选用无缝铜管、聚丙烯管、不锈钢管，并应采用焊接或快速接口连接。 2 ，排水 污染区特别是致病微生物严重污染区域的排水管应明设，并与墙 壁保持一定检查维修距离。 有高致病性微生物污染的排水管线宜设透 明套管（如透明 PVC管）。 污染排水管道应有足够的强度和耐腐蚀性能。用化学灭菌的排水 管道可用聚丙烯、聚氯乙烯材料。 致病微生物严重污染的排水管道如设有自动阀， 应在其前后再设 手动阀，阀门安装位置和方式应有采用蒸气和其他气体灭菌的条件。 管线布置应符合设计要求。 当设计未明确要求时， 压力给水管应 避让重力流排水管；附件少的管道应避让附件多的管道。 致病微生物严重污染的排水管道上的通气管应伸出屋顶， 距站人 地面应在 2m 以上，不要接到清洁区；周边应通风良好，并远离一切 进气口。处理排气的高效空气过滤器的安装位置与方式应方便维修和 拆换。不同用途房间的排水通气管应各自独立。 不得将通气口接入净 化空调系统的排风管道。 致病微生物严重污染的排水管的末端应设定期检查水样的采样 致病微生物严重污染的排水管道穿墙的地方， 应采用不收缩、 不 燃烧、不起尘的材料密封。 地漏的安装应平整、牢固、无渗漏。地漏顶标高应低于附近地面 5mm～ 10mm。地漏安装 后必须先封闭。 3 ，热水 0 生活和清洁用热水绝热措施的安装应能维持储存温度不低于 60 C 0 或循环温度在 51 C 以上的条件。 作为消毒器件用热水的绝热措施的安装应能维持储存温度不低于 0 0 80 C，或循环温度在 65 C 以上的条件。 冷热水混合用的自动调温阀应安装在出水口处。 4，纯化水与高纯水 工艺用纯化水与高纯水处理设备的安装应符合下列规定： 1. 纯化水处理设备的安装除应符合设计要求外，还应符合国家 现行标准《电子级水》等有关规定。 2. 纯化水处理流程工艺布置与安装方式应合理、安全、方便、 美观。必须校核安装承重安全。 3. 纯化水水站的地面、沟道和设备必须作防腐处理，应有急救 处理药箱的固定放置地点。 4. 沙滤器、活性炭过滤器和离子交换器的安装应保持垂直。膜 过滤器、反渗透系统、超滤系统和电再生离子系统基架应安置水平。 5. 集水滤帽固定应牢固，无污损。 加完后反洗，反洗时间对沙层应为 1h，对活性炭应为 2h。并应再正 洗 30min。 7. 离子交换器应按设计要求加装树脂。 8. 反渗透压力容器的交换膜可用甘油作润滑剂，但不得使用硅 脂。 9. 膜过滤设施安装膜之前应彻底清洗设备管路，不得有颗粒物 进入膜组件。 纯水和高纯水管道、 管件、阀门安装前应清除油污和进行脱脂处理。 管道、管件的预制、装配工作应在洁净环境内进行，操作人员应穿 洁净工作服、戴手套上岗。 管件安装前后或停顿工作时， 应充高纯惰性气体保护， 并应以洁净 塑料袋封口，一旦发现封袋破损应及时检查处理。 纯化水和高纯水（含注射用水）管道以及纯蒸气管道采用不锈钢 （SUS）管时，其管道加工、安装应符合下列规定： 1. 不锈钢管在堆放、加工过程中，不应直接与炭钢支架管卡接 触，应以塑料或橡胶垫片隔离。 2. 管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式。 3. 焊接应采用自动焊，管内灌充纯氩气（纯度％）直至焊接、 吹扫完毕。管壁冷却后再用四氯化炭脱脂，然后封闭管口。施焊方向 与充气气流方向一致。 4. 管道部件的点固焊可采用手工钨极氩弧焊，充氩应直至管壁 5. 设计无要求时，法兰垫片宜采用非金属的聚四氟乙烯或软质 聚氯乙烯板。法兰紧固螺栓应采用不锈钢材料。 6. 焊接人员应有相应资质，施焊前应按施工要求做出样品，并 应在检验合格后上岗。 7. 管道系统安装应具备无不流动死水段的特性，系统安装后应 有不小于％的坡度。 系统管道和所有设备的安装应具有残余水放空能 力。 8. 管道在焊接、安装结束后，应将管内焊缝氧化物冲洗干净， 再进行脱脂和酸化钝化，并记录在案。 纯水、高纯水管道当采用偏聚二氟乙烯（ PVDF）管时，应符合本 规范第 6.3.6 条的相关要求；当采用硬聚氯乙烯（ PVC）管、聚丙烯 （PP）管和工程塑料（ ABS）管时，其管道加工、安装应符合下列规 定： 1. 管道加工、安装应在室温 50C 以上、相对湿度 85％以下的清 洁环境中进行。 2. 管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接。 3. 管道或管件的承口不应歪斜和厚度不匀。管端不应有裂缝。 管道的承插间隙不应大于。 4. 管道在粘接前，应对粘接面进行磨沙处理和清洁处理，不得 沾污。应远离火源。承口上涂粘接剂，应不少于 2 次。应保证插入承 口的深度，插入深度达到规定后应保持 20min。 6. 埋地敷设时，应对垫层进行处理或设简易管沟；安装在地面 上时，应设防护罩。 7. 管道采用焊接或平焊法兰连接时，应采用自动或半自动热焊 机。管道法兰应根据不同厚度加工坡口。焊缝应填满，并高于管子表 面 2mm～3mm，宽度均匀，不应有焦黄、断裂、虚焊等缺陷。焊缝强 度不应低于母材的 60 ％，焊缝材质应与母材相同。不同管壁厚度的 管道、附件不得对焊。 8. PVC 管道焊接时应为均匀的双重焊道，焊道宽度由壁厚确定， 并不应小于 2mm。 9. 管道支、吊架不应设在管子接头、焊缝处。所有阀门应以支 架支承。支、吊架与管子之间应填入软质绝缘物分隔。 10. 穿越围护结构时，应设套管，套管内不应有接头。 11. 直管段超过 20m长时，应安装伸缩管。 纯水、高纯水管道系统压力试验合格后，应在系统运转前进行自 来水冲洗，冲洗速度宜大于 2m/s，直至冲洗前后水质相同。冲洗后 应再用 10％双氧水进行后级循环消毒 4h 以上，然后用反渗透透过水 冲洗直至前后水质符合设计要求。 5 ，中间验收 水系统中间验收应按管道系统、检验批或分项工程分别进行。 管材、管件及其施工方法应符合设计要求。 管相差不得大于；非金属管相差不大于 1mm，管道壁厚差不应大于 1％；承插间隙应符合要求。 热水管道应在工作温度流动下试验，并应保持 30min 不泄漏 8 化学物料供应系统 用于洁净室中使用的具有爆炸性、易燃性、剧毒性和腐蚀性的酸、 碱、有机溶剂等化学物料储存供应设备、 输送系统管路的安装施工及 验收。 1， 储存设施 储存间的机械排风出入口处应通畅无障碍，避免气体积聚。 容器的搬运除应严禁倒置、撞击。 储存设施与空间在施工完成后应按规定在明显位置建立醒目标志。 储存和分配间设置的隔堤， 堤内容积应大于最大储罐的容积， 并不低 于 500mm，堤体必须密实不漏，管道穿堤处应采用不燃材料密封。 2， 管道与部件 化学物料的输送管道及部件的材料， 应符合设计要求， 当设计未明 确要求时，有机溶剂的管道宜用低炭不锈钢管，酸、碱类管道宜用聚 四氟乙烯（ PFA）管，并应要求设计方确认。 阀门材料应与管道材质一致。 阀管间垫片宜采用氟橡胶或聚四氟乙 在非金属管道中输送有腐蚀性、 易燃性的化学物料时， 必须采用保 护套管，保护套管可用透明的聚氯乙烯（ PVC）管；输送易燃性的化 学物料时，可用熔点高于 1100℃的金属套管。 化学物料输送管道安装完成后， 应关断通往容器阀门、 卸下管中过 滤器与流量计等附件， 然后应采用干燥的与洁净室洁净度匹配的压缩 空气、纯氮吹净再用纯净水清洗。 3 ，中间验收 中间验收除应符合本规范外， 还应遵守 《常用危险化学品的分类及 标志》 GB13690和《工业金属管道工程施工及验收规范》 GB50235的 相关规定。 主控项目 容器应经过严格的清洁，表面应无伤痕，零件安装应牢固，并应使 阀门操作方便、仪表容易读数。 检测验证的方法：观察检查。 检验数量：全部。 容器垂直度的最大偏差，不应大于％。 检验方法：观察检查、挂 5m线，直尺量。 检验数量：全部。 系统管道吹净时间宜为 1h～2h，直至排出气体洁净度符合设计要求。 检验方法：观察检查，粒子计数器测定。 应在倍工作压力的检验压力下经 30min 试验无泄漏。 检验方法：检查试验记录。 检验数量：全部。 9 配电系统 应在对所需各种材料、管线、盘柜、开关、灯具等检验合格后开始 配电系统施工作业。 1，线路 洁净区用电线路与非洁净区线路应分开敷设；主要工作（生产） 区与辅助工作（生产）区线路应分开敷设；污染区线路与清洁区线 路应分开敷设；不同工艺要求的线路应分开敷设。 穿过围护结构的电线管应加设套管，并应用不收缩、不燃烧材料 将套管密封。进入洁净室的穿线管口应采用无腐蚀、不起尘和不燃 材料封闭。有易燃易爆气体的环境，应使用矿物绝缘电缆，并应独 立敷设。 不应在建筑钢结构构件上焊接固定配电线路、设备的支架螺栓。 施工配电线路的接地（ PE）或接零（ PEN）支线必须单独与相应的 干线连接，不得串联连接。 金属有线导管或线槽不应焊接跨接接地线， 应用专用接地点跨接。 接地线穿越围护结构和地坪处应加钢套管，套管应接地。接地线，电气设备与装置 洁净室所用 100A 以下的配电设施与设备安装距离不应小于， 大于 100A 时不应小于 1m。 洁净室的配电盘（柜） 、控制显示盘（柜） 、开关盒宜采用嵌入式 安装，与墙体之间的缝隙应采用气密构造，并应与建筑装饰协调一 致。 配电盘（柜）、控制盘（柜）的检修门不宜开在洁净室内，如必须 设在洁净室内，应为盘、柜安装气密门。 盘（柜）内外表面应平滑，不积尘、易清洁，如有门，门的关闭 应严密。 洁净环境灯具宜为吸顶安装。吸顶安装时，所有穿过吊顶的孔眼 应用密封胶密封，孔眼结构应能克服密封胶收缩的影响。当为嵌入 式安装时，灯具应与非洁净环境密封隔离。单向流静压箱底面上不 得有螺栓、螺杆穿过。 洁净室内安装的火灾检测器、空调温度和湿度敏感元件及其他电 气装置，在净化空调系统试运转前，应清洁无尘。在需经常用水清 洗或消毒的环境中，这些部件、装置应采取防水、防腐蚀措施。 3 ，中间验收 原设计线路路线和安装位置无设计方认可文件的，不予验收。 电气线路与电气设备穿越围护结构的连接处， 均应密封并应和建筑 装饰协调一致。 检验方法：观察检查。 检验数量：按房间数抽查 30%。 用于三相 380V 的配线V 的配线，其绝缘层应有可明 显区分的颜色。 检验方法：观察检查。 检验数量：按房间数抽查 30%。 接线盒或配电盘（柜）应在线管外有足够余量的线、缆。 检验方法：观察检查。 检验数量：按房间或设备抽查 30%。 配电安装时留下的可见洞眼均应密封。 检验方法：观察检查。 检验数量：按房间抽查 30%。 接地体埋深应大于 0.6m ，地上接地体与地面之间距离宜大于 250mm，垂直接地之间距离宜大于 2 倍接地体长度，水平接地体之间 距离宜大于 5m，跨越结构缝时应有补偿措施。 检验方法：观察检查，尺量。 检验数量：全部。 洁净室的自动控制系统的施工验收， 不含机电设备自带控制和有特 殊要求的控制的施工和验收。 1，自控设备的安装 自控设备仪表和材料在安装前的保管期限不应超过半年。当超期 保管时，应符合保管的专门规定。 自控设备的安装应根据其使用目的，选择易于正确检测和动作的 安装部位，在安装位置周围应预留相应的维修保养空间。 自控设备、仪表不应安装在有振动、潮湿、宜受机械损伤、有强 电磁场干扰、温度变化剧烈和有腐蚀性气体的位置。 温湿度传感器、湿度变送器和压力变送器应安在能真实反映输入 变量的位置，并应避开风口的直吹气流。安装底板和接线盒之间应 密封处理。 风管或配管上插入式温、湿度传感器应按绝热层的厚度选择安装 支架或套管。套管应垂直或水平面向管内流体。 直接安装在管道上的设备、仪表，宜在管道吹扫后和压力试验前 安装，当必须与管道同时安装时，在管道吹扫前应将其拆下。 压力变送器的压力检测部位与导压管之间应安截止阀。 导压管至 变送器应有 1：20 的倾斜度。压力变送器安于蒸气管道上时，应安 装防止与蒸气直接接触的虹吸管；当安于风管上时，变送器应垂直 于空气流动方向。 流体流动方向并应在上流方向安过滤器。执行器应在阀体上方。安 装于室外的非防水执行器应有防护罩保护。 设备、仪表上接线盒的引入口不应朝上，当不可避免时，应采取 密封措施，施工过程中应及时封闭接线盒及引入口。 仪表盘、柜、操作台安装时应将其内外擦拭清洁，相邻两盘、柜、 台之间的缝隙应不大于 2mm，并应密封。 2， 自控设备管线的施工 洁净室自控设备管线的施工应满足建筑装饰的要求， 应可随时进行 清洁处理。 自控设备管线应采用金属线管或金属线槽。 线槽经过建筑物变形缝时，线槽本身应断开，槽内应用内连接板 搭接，不需固定。保护地线和槽内导线，自控设备的综合调试 在自控设备综合调试之前， 应完成各控制设备的单体检测和调试， 即通过模拟信号出入，完成给定的单体控制动作。 综合调试应完成下列工作： 1. 相关动力设备的启动停止和联动。 2. 确认设备运行动作和控制范围符合设计要求。 3. 确认控制状态，微调各控制回路的控制参数。 中间验收应符合以下规定： 1. 验收时施工方应提交下列文件： 1）全套设计文件； 2）验收文件； 3）仪表设备交接清单； 4 ）仪表设备和工程材料产品质量合格证明； 5）仪表设备的使用说明书； 6）进口产品的通关文件； 7) 自控盘、柜图纸； 8）设备安装现场平面图； 9）设备接线) 控制动作调试报告； 11) 系统设备参数设置表。 2. 隐蔽工程应提前验收。 主控项目 控制仪表、传感器、调节阀及控制柜等应安装到位；设备之间的 连接及排管、布线应正确；设备品质证明应齐全。 检验方法：观察检查和核查文件。 检验数量：全部。 进行系统的控制动作调试。 检验方法：应符合本规范第 10.4.2 条的要求。 中间验收完成后，应将自控系统投入运行不少于一周，然后施工 方应对系统做最后的调试，满足设计的基本要求。 11 设备安装 设备在现场开箱之前，应在较清洁的环境内存放，并应注意防潮。 设备应在指定的非受控环境拆除外包装（生物安全柜除外） ，但不 得拆除、损坏内包装。设备内包装应在搬入口前室的受控环境中先 按从顶部至底部方向采用净化吸尘器吸尘、清洁后再拆除。设备的 外层包装膜应按从顶部到底部的顺序剥离。 设备运到现场拆开内包装，应核查装箱文件、配件、设备外观， 并应填写开箱验收记录，然后应向监理工程师报验。设备开箱检查 完毕后应立即开始安装。 1，净化设备安装 有风机的净化设备当其风机底座与箱体软连接时， 搬运时应将底座 架起固定，就位后放下。 净化设备安装应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成， 并 进行全面清扫、擦拭干净之后进行，但与围护结构相连的设备（如 余压阀、传递窗、空气吹淋室、气闸等）或其排风、排水（如排风 洁净工作台、生物安全柜和净化空调器的排水地漏等）管道必须与 围护结构同时施工时，与围护结构应圆弧过渡，曲率半径不应小于 设备或其管道的送、回、排风（水）口在设备或其管道安装前、 安装后至洁净室投入运行前应封闭。 安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂 直、横轴水平。 带风机的气闸室或空气吹淋室与地面之间应垫隔振层， 缝隙应用密 封胶密封。 带风机的层流罩直接安装在吊顶上时， 其箱体与吊顶板接触部位应 有隔振垫等防振措施，缝隙应用密封胶密封。 凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运行，试运行时叶轮旋 转方向应正确，试运行时间按设备的技术文件要求确定，当无规定 时，不应少于 1h。 2， 设备层中的空调及冷热源设备安装 安装空调设备时应按设计的基本要求，核对型号、规格、方向和功能段 （或模块）。 安装空调设备时应对设备内部进行清洗、擦拭、除去尘土、杂物 和油污。 有检查门设备的门框应平整，密封垫应符合本规范第 5.3.2 条和 第条的规定。 应对现场（包括技术夹层和机房）组装后的组合式空调机组本体 的各连接缝做密封处理，然后按国家现行标准《组合式空调机组》 净化风机盘管的进出水管均应绝热，排水软管不得折弯、压扁， 凝水盘的排水口应处于最低位置。 安装空调设备四周的设备层地面应做防水处理，并应平整、无麻 面、不起尘。该处地面应设挡水线，不应设排水沟。挡水线范围之 内设地漏，地漏水封高度应符合设备技术文件要求。当无明确要求 时，不应小于 70mm（防高压穿透）。冷凝水出管应有阀门，无冷凝 水排出季节阀门应关闭，并应有提示标志。 当空调设备内表冷器设在负压段时，地面应设不小于冷凝水出水 水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于 200mm（防风机全压穿 透）。 空调设备内加湿器的安装应设独立支吊架，不得在空调机组壁板 上开设固定支架用的安装孔。 加湿器喷管与机组壁板间应做好绝热、 密封处理。 吊顶内空调设备应留有一定的检修、维护空间，应在洁净室外就 近吊顶处设便于人员进出的检修口，并应有照明设施。 安有空调设备的吊顶不应直接与室外相通。 吊顶内的空调设备宜设置防止水直接漏至吊顶上的导流措施。 吊顶内空调设备水管主要接口处正下方不应设置电线接盒、电气 元件等。 吊顶内安装的空调设备应有减振措施。 冷冻水、冷凝水、冷却水、蒸气（热水）等各种阀门应选用铜或 系统中的电加热器安装必须与不耐燃部件保持安装距离，电加热 与其他构件接触处应垫以不燃材料的绝热层；与风管的连接法兰， 应采用耐热不燃材料。电加热器的外壳应有良好接地，外露接线 ， 生物安全柜安装 11.4.1 生物安全柜内如有气管和水管，应同时安装完毕。 11.4.2 当多台生物安全柜的排风支管与竖井内封闭的排风立管相 连接时，支管应采用防回流装置，并应从立管入口后向上伸入最少。 11.4.3 生物安全柜安装就位之后， 连接排风管道之前， 应对高效过 滤器安装边框及整个滤芯面扫描检漏。当为零泄漏排风装置时，应 对滤芯面检漏。 11.4.4 在采用压力相关的手动调节阀定风量系统中， 当多台安全柜 排风并联时，整个系统在安全柜安装后应重新平衡，采用压力无关 的风量平衡阀时可不做此项平衡。 11.4.5 生物安全柜安装并检漏之后，应进行下列现场检验。 1. Ⅱ级安全柜安装后，应作操作区气流速度检验，应确认结果 符合国家现行标准 《生物安全实验室建筑技术规范》 GB50346的要求。 2. Ⅰ、Ⅱ级安全柜安装后，应作工作窗口气流方向检验，应确 认通过整个操作口的气流流向均指向柜内。 3. Ⅰ、Ⅱ级安全柜安装后，应作工作窗口气流速度检验，应确 的要求。 4. 接地装置的接地线路电阻检验，应确认接地的分支线路在接 线及插座处的电阻不超过设计规定值。 4 ，工艺设备安装 工艺设备的安装不应影响洁净室参数和服务功能。 工艺设备安装时，现场的净化空调系统应已连续运行 24h 以上； 现场除正常照明外，应配备三相 380V、单项 220V 和低压行灯电源。 任何用于大设备的提升、牵引或定位的专用设备在进入洁净室安 装现场前，应彻底清洁，并应检查有无脱屑、剥落的表面或不宜进 入洁净环境的材料。 设备安装时应妥善保护墙壁与地面，设备的软胶轮应予包裹，避 免在地面拖磨。开洞作业不应划伤或污染所在表面。设备安装位置 穿越不同洁净级别区域时，穿越处缝隙应用柔性材料填充、密封， 并应装饰处理。 设备安装时宜在设备周围设临时隔离墙， 设备周围应留出足够的 安装空间。隔离区内应阻断正压送风。进入隔离区的人员应按进入 洁净区要求。 除设计有明确要求外，设备的安装宜不作永久性固定，不采用地 脚螺栓方式。宜安装成可移动性的半固定式。 无脚轮的设备安装就位时，应有承重部位地面的保护的方法。 墙间的缝隙应密封。 11.5.9 设备底面应抬离地面 80mm~150 mm，不能抬高这一距离时， 应落地安装，与地面间的缝隙应密封。 11.5.10 水池、水槽

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