洁净室施工及验收规范标准docx

  第一章总则 第1.0.1条为了在洁净室（含装配式洁净室，下同）施工中，贯彻国家相关的方针政策 和统一施匚验收要求，统一检测的新方法，做到保证匸程质量、节约能源、保护自然环境和安全 操作，特制定本规。 第1.0.2条本规适用于新建和改建的工业洁净室和一般生物洁净室的施工及验收，不适 用于有生物学安全要求的特殊生物洁净室的施工及验收。 第1.0.3条洁净室必须按设计图纸施匚施工中需修改设计时应有设计单位的变更通知。 没有图纸和技术方面的要求的不能施工和验收。 第1.0.4条洁净室施工前应制订详尽的实施工程的方案和程序，施工中各工种之间应密切配合, 按程序施工.先行施工的工种，不得妨碍后续的施工。 第1.0.5条工程所用的主要材料、设备、成品、半成品均应契合设计规定，并有出厂合 格证或质量签定证明文件。对质量有怀疑时，一定要进行检验。过期材料不得使用。 第1.0.6条洁净室施丄过程中，应在每道工序施工完毕后进行中间检验验收，并记录备 案。 第1.0.7条洁净室的施工及验收除执行本规外.还应符合国家现行的有关标准的规定。 第二章建筑装饰 第一节一般规定 第2.1.1条洁净室建筑装饰施工应于屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装 完毕，主体结构验收后进行，其容包括室装饰工程，门窗安装，缝隙密封，以及各种管 线、照明灯具、净化空调设备、工艺设备等与建筑的结合部位缝隙的密封作业。 第2.1.2条洁净室建筑装饰施工进度安排应与其他专业工种制订明确的施工协作计划， 按程序施工，互相配合。施工主要程序见附录二。 第2.1.3条洁净室建筑装饰施工除应符合现行国家标准《装饰工程施工及验收规》GBJ 210和《地面与楼面工程施工及验收规》GBJ 209的要求外，还应保证施工的气密性， 减少施匸作业的发尘量和保持施工现场的清洁。有防腐蚀要求时，还应符合现行国家标 准《建筑防腐蚀工程施工及验收规》TJ212的规定。 第2.1.4条洁净室建筑装饰施工现场的环境温度应不低T I0T，但对特殊的装饰工程, 应按装饰材料说明书要求的温度施工。 第二节材料要求 第2.2.1条用于洁净室嵌缝的弹性密封材料及防尘涂料必须有注明成份、品种、出厂日 期、贮存有效期和施匸方法的说明书以及产品合格证书。不得使用过期产品和未经签定 的产品。 第222条洁净室涂料地面水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号；水磨石地面应现 浇，所用小石子直径为6?15mm,水磨石细磨后，宜用不挥发的护面材料打涂。 第2.2.3条洁净室墙面和吊顶的抹灰，应为高级株灰，养护时间应充分。不得采用受热、 湿影响产生变形、毒变、粉化的材料。 第2.2.4条洁净室使用的木材的含水率不应大于16%,并且不得外露使用；石盲板、胶 合板和木龙骨应做防潮处理，或采用防水石皆板；生物洁净室不应使用木材和石音板作 表面装饰材料。 第三节构造与装饰要求 第2.3.1条预埋在钢筋混凝土构件和墙体上的铁件、木框等应牢固，木砖和木框应做防 腐处理，预埋铁件外露部分和吊杆支架应做防锈或防腐处理。 第2.3.2条不同材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙, 见图2.3.2。 图2.3.2缝隙密封宽度 1—弹性密封材料；2—钢窗框；3—窗台板；4—设督外框；5—钢龙骨隔墙 第2.3.3条所有建筑构配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联，不应与 设备支架（如传送带吊杆、风管吊杆以及有振动的设备）和管线条建筑装饰及门窗的缝隙应在正压而密封。 第2.3.5条改建工程在隔墙拆移、打洞、管线穿墙和穿楼板等旎工后，应修补牢固，表 面进行相应装饰，防止积尘掉灰。 第2.3.6条管线隐蔽工程应在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶 处的洞口周围应修补平齐，严密，清洁，并用密封材料嵌缝。隐蔽工程的检修口周边应 粘贴气密性密封垫。 第2.3.7条洁净室地而垫层下应铺设0.4?0.6mm厚的防水薄膜作防潮层，接头处搭接 50mm：用胶带粘牢；混凝土浇筑时分仓线不宜通过洁净室。施工卷材和涂料的基底含 水率不应大于6?8%。 第2.3.8条踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2-3mm.当踢脚板与地面材料相 同时可做成小圆角.其圆角半径R应大丁?等T 50mm：当踢脚板与地面材料不同时.应 用弹性材料嵌固.见图2.3.8。 图2.3.8踢脚板部分做法 1 一踢啣板；2一密封嵌固材料 第2.3.9条洁净室的装饰表面质量应符合表2.3.9的规定。 ￥ at 項 H 或空性 耐廟性 ［嵋水性 防酔电 防U性 弋布性 P tfi ? ? ? fl 不2皮.粉化 — ar?Mafc 紺繡湛，祢史. —? e 不尸会无 可復it ^■b 板鎌平齐. 平宣， o.anifn a * _ 耐螺汨 AlNr諷、?? 隔 料 可耕清佻 huh 为 m ■口 錦測誰，■史 —? 板 材 不户企，无盘血 可斜滑傥 邮阍谊??? ? 財 平］L繡臉不大于 ?.Sins 埼 a — Attest ?? —? 一 地 次 不足瓷. 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第2.5.8条构配件和材料的开箱启封应在清洁环境中进行，应严格检查其规格性能和完 好程度，不合格或已损坏的构配件严禁安装。 第2.5.9条需要粘贴面层的材料、展填密封胶的表面和沟槽必须严格清扫清洗，除去杂 质和油污，确保粘贴密实，防止脱落和积灰。 第2.5.10条装配式洁净室的安装缝隙，必须用密封胶密封。 第三章净化空调系统 第一节一般规定 第3.1.1条净化空调系统的一般要求和风管、部件的具体制作验评方法，应分别符合现 行国家标准《通风与空调丄程施工及验收规》GBJ 243和《通风与空调工程质量检验评 定标准》GBJ3O4的有关规定。 第3.1.2条净化空调系统的施工安装应根据“洁净室主要施工程序”（见附录二）制订协 作进度计划，严格按计划进行。 第二节风管及其部件的制作 第321条风管和部件的板材应按设计要求选用，设计无要求时应采用冷轧钢板或优质 镀锌钢板。 第322条风管不得有横向拼接缝，尽量减少纵向拼接缝.矩形风管底边宽度等丁或小 于800mm时，其底边不得有纵向拼接缝。 第3.2.3条风管板材的拼接采用单咬口；圆形风管的闭合缝采用单咬口，弯管的横向缝 釆用立咬口：矩形风管转角缝采用转角咬口、联合角咬口或按扣式咬口。上述咬口缝处 都必须涂密封胶或贴密封胶带。 第3.2.4条风管去面必须平整光滑，不得在风管设加固框及加固筋。 第3.2.5条风管应按设计要求刷涂涂料。当设计无要求时，可按表3.2.5要求刷涂。刷 涂前必须除去钢板表面油污和铁锈，干燥后再刷涂。涂层应无漏涂、起泡、露底现象。 凤管制涂涂誣的裏求 *引2?5 阳瞥肝料 涂籽类别 fid狷&敦 冷覚需扳 全 ? 内表而邸类定隸 醉矣敏漆 2 2 外表画1有条磊,铁瓦成讓 无保溫『最红底変 2 1 1 回艮詫. 歲送属皆 内表百.一脸不剧規 当镇律使板表訴有明显氣 有针孔??衅XU起 笹下列萋攻垣険， 锌黄醇酸堯成褂 画猷（敬漆荣貝和3?等〉 1 2 2 鈔灰面.不WSt 高效正缱 器后活貝符 肉從面= 铮黄屛成类底咨 35猷（成議去四和談等） 1 2 2 外喪面,不国涂 第3.2.6条加工镀锌钢板风管应避免损坏镀锌层，损坏处（如咬口、折边、挪接处等） 应刷涂优质涂料两遍。 第3.2.7条柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气和不产生静电的材料制 做（如光面人造革、软橡胶板等），光面向里。接缝应严密不漏风，其长度一般取150? 250mm.安装好后不得有开裂或扭曲现象。 第328条 金属风管与法兰连接时，风管翻边应平整并紧贴法兰，宽度不应小T 7mm. 翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。 第3.2.9条法兰螺钉孔和钾钉孔间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺钉孔。螺 钉、螺母、垫片和抑钉应镀锌。不得选用空心抑钉。 第3.2.10条中效过滤器后的送风管法兰钾钉缝处应涂密封胶，或采取其他密封措施. 涂密封胶前应清除表面尘土和油污。 第3.2.11条风管、静圧箱和部件必须保持清洁?制作完毕用无腐蚀性清洗液将表面油 膜和污物清洗干净，干燥后经检査达到要求即用塑料薄膜及胶带封口，清洗后立即安装 的可不封口。 第3.2.12条净化空调系统管径大于500mm的风管应设清扫孔及风量、风压测定孔，过 滤器前后应设测尘、测圧孔，孔口安装时应除去尘土和油污，安装后必须将孔口封闭。 第3.2.13条风管及其部件不得在没有做好墙壁、地面、门窗的房间制作和存放，制作 场所应经當清扫并保持清洁。 第三节系统安装 第3.3.1条法兰密封垫应选用弾性好、不透气、不产尘的材料，严禁采用乳胶海绵、泡 沫塑料、厚纸板、石棉绳、铅油、麻。纟以及油毡纸等含开孔孔隙和易产尘的材料。密封 垫厚度根据材料弹性大小决定，一般为4?6mn】。一对法兰的密封垫规格、性能及厚度 应相同。严禁在密封垫上刷涂涂料。 第3.3.2条法兰密封垫应尽量减少接头。接头采用阶梯形或企口形，并涂密封胶，如图 3.3.2所示。密封垫应擦拭干净后，涂胶粘牢在法兰上，不得有隆起或虚脱现象。法兰均 匀压紧后，密封垫侧应与风管壁相平。 对接：不正确 梯形接：正确 企□接：正确 图3.3.2法兰密封垫接头 1 一密封垫；2—密封股 第333条风管上成对法兰的拧紧力矩要大小一致，安装后不应有松紧不匀的现象。 第3.3.4条经清洗干净包装密封的风管及其部件，安装前不得拆卸。安装时拆开端口封 膜后，随即连接好接头：如安装中间停顿，应将端口重新封好。 第3.3.5条风阀、消声器等部件安装时必须清除表面的油污和尘土。 第3.3.6条风阀的轴和阀体连接处缝隙应有密封措施，阀的各部分（包括外框、活动件、 固定件及连接螺钉、螺帽、垫片等）表面应做馈铭、谴锌或喷塑处理，叶片及密封件表 面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。 第3.3.7条净化空调系统风管安装之后，在保温之前应进行漏风检査。当设计对漏风检 査和评定标准有具体要求时，应按设计要求进行。无具体要求时，应根据洁净度级别的 高低按表3.3.7的规定进行。具体检查试验方法见附录三. 58风校长方法初评定标准 . 裏 3.3.7 1貝箸茹位 1心奁方注 任本级刿 ｝送.回里支晋 5法 x a jt 低于皿。新 茴,而员曾 级實低于108経 軽，蜀凤总毎JD麦干晋 汩尺法 —— 次,回艮Q管汨支干答 S R & 第3.3.8条擦拭净化空调系统表而应采用不易掉纤维的材料。 第3.3.9条保温层外表面应平整、密封、无胀裂和松弛现象。洁净室的风管有保溫要求 时，保温层外应做金属保护壳。保护売的外表面应光滑不积尘，便于擦拭，接缝必须密 封。 保温施匸时不得在风管壁上开孔和上螺钉，不得破坏系统的密闭性。 风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开启。 第3.3.10条高效过滤器送风口尺寸必须符合设计要求。安装前应清洗干净。需在洁净 室安装和更换高效过滤器的送风口，风口翻边和吊顶板之间的接缝应加密封垫。在技术 夹层安装和更换高效过滤器的风口，安装前应配合土建施匸预埋短管，短管和吊顶板之 间如有裂缝必须封堵好。详站图3.3.10。风II表面涂层破损的不得安装。风口安装完毕 应随即和风管连接好，开口端用塑料薄膜和胶带密封。 （1） 在洁净室内安装和更换过痣器的送风口 （2） 在吊顶内安装和更换过滤器的送风口 1—轻质吊顶；2—钢筋混襯土顶板；3—高敏过虑器；4一密封垫: 5—扩歆:板；6—韻压箱；7—拉杆；8—柔性短管；9—风口翻边； 10—压块：11—连接风管；12—蝶杆：13—蝶母：L4一预埋短管: 15—锚固钢筋 第四节高效过滤器安装 第3.4.1条高效过滤器安装前，必须对洁净室进行全面清扫、擦净，净化空调系统部如 有积尘，应再次清扫、擦净，达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶安装高效过滤器，则 技术夹层或吊顶也应进行全面清扫、擦净。 第3.4.2条 洁净室及净化空调系统达到清洁要求后，净化空调系统必须试运转。连续运 转12h以上，再次清扫、擦净洁净室后立即安装高效过滤器。 第3.4.3条高效过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中应轻拿 轻放，防止剧烈振动和碰撞。 第3.4.4条高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检査，容包括滤纸、 密封胶和框架有无损坏；边长、对角线和厚度尺寸是否符合要求：框架有无毛刺和锈斑 （金属框）：有无产品合格证，技术性能是否符合设计要:求。然后进行检漏。（见附录 六、一）经检査和检漏合格的应立即安装。安装时应根据各台过滤器的阻力大小进行合 理调配，对于单向流，同一风口或送风面上的各过滤器之间?每台额定阻力和各台平均 阻力相差应小于5%6 洁净度级别等于和高于10。级洁净室的高效过滤器，安装前应按附录六、一规定的方法 检漏，并符合第5.4.1条规定的要求。 第3.4.5条安装高效过滤器的框架应平整。每个髙效过滤器的安装框架平整度允许偏差 不大于1mm， 第3.4.6条高效过滤器和框架之间的密封采用密封垫、不干胶、负压密封、液槽密封和 双环密封等方法时，都必须把填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。 第3.4.7条 采用密封垫时，垫的厚度不宜超过8mm.压缩率为25%?30%。其接头形式 和材质应符合第3.3.1条和第3.3.2条的规定。采用液槽密封时，液槽的液面高度要符合 设计要求，框架各接缝处不得有渗液现象。采用双环密封条时，粘贴密封条时不要把环 腔上的孔眼堵住：双环密封和负压密封都必须保持负压管道畅通。 第348条安装高效过滤器时，外框上箭头应和气流方向一致。当其垂直安装时，滤纸 折痕缝应垂直于地面。 第六节空气净化设备和装置的安装 第3.6.1条本节适用于空气吹淋室、气闸室、传递窗、余压阀、层流罩、洁净工作台、 洁净烘箱、空气自净器、新风净化机组、净化空调器、生物安全柜等设备。 本节未包括的或有特殊要求的设备，其安装施工及验收的技术要求，应按设备的技术文 件（如说明书、装配图、技术要求等）的规定执行。 第3.6.2条集中式真空吸尘器及其系统的安装施匸及验收应符合现行国家标准《通风与 空调工程项目施工及验收规》GBJ 243的有关规定。 第3.6.3条设备应按岀厂时外包装标志的方向装车、放置，运输过程防止剧烈振动和碰 撞。对于风机底座与箱体软连接的设备，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。 第3.6.4条设备运到现场开箱之前，应在较清洁的房间存放，并应注意防潮。当现场一 时不具备室存放条件时，允许短时间在室外存放，但应有防雨、防潮措施。 第3.6.5条设备应有合格证，开箱应在较干净的环境下进行，开箱后应擦去设备外表面 的尘土和油垢，设备开箱检查合格后应立即进行安装。 第3.6.6条设备应按装箱单进行检査，并应符合下列要求： 一、 设备无缺件，表面无损坏和锈蚀等情况： 二、 部各部分连接牢固。 第3.6.7条设备安装一般情况下应在建筑部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行 全面清扫、擦拭干净之后进行。但与洁净室用护结构相连的设备（如新风净化机组、余 压阀 传递窗、空气吹淋室、气闸室等）或其排风、排水（如排风洁净工作台、生物安 全柜、洁净工作台和净化空调器的地漏等）管道在必须与围护结构同时施工安装时，与 围护结构连接的接缝应采取密封措施，做到严裕而清洁；设备或其管道的送、回、排风 （水）口应暂时封闭，每台设备安装完毕后，洁净室投入运行前，均应将设备的送、回、 排风口封闭。 第3.6.8条安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴 水平。 第3.6.9条带风机的气闸室或空气吹淋室与地面之间应垫隔振层。 第3.6.10条凡有机械联锁或电气联锁的设备（如传递窗、空气吹淋室、气闸室、排风 洁净工作台、生物安全柜等），安装调试后应保证联锁处于正常状态。 第3.6.11条凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运转，试运转时叶轮旋转方向 必须正确：试运转时间按设备的技术文件要求确定：当无规定时，则不应少于2h° 第3.6.12条设备的验收标准应符合该设备的技术文件要求。 第3.6.13条安装生物安全柜时应符合下列规定： 一、生物安全柜在安装搬运过程中，严禁将其横倒放置和拆卸，宜在搬入安装现场后拆 开包装： 二、生物安全柜安装位置在设计未指明时应避开人流频繁处.并应避免房间气流对操作 口空气幕的干扰： 三、 安装的生物安全柜的背面、侧面离墙壁距离应保持在80?300mm之间。对于底面 和底边紧贴地面的安全柜，所有沿地边缝应加以密封。 四、 生物安全柜的排风管道的连接方式，必须以更换排风过滤器方便确定。 第3.6.14条生物安全柜在每次安装、移动之后，必须进行现场试验，并符合设计要求: 当设计无规定时，II级生物安全柜的试验应符合下列规定： 一、 压力渗漏试验，应确认所有接缝的气密性及整个设备没有漏气： 二、 高效空气过滤器的漆漏试验，应确认高效空气过滤器本身及其安装接缝处没有渗漏: 三、 操作区气流速度试验，应确认整个操作区的气流速度均满足规定的要求； 四、 操作口气流速度试验，应确认整个操作口的气流速度均满足规定的要求； 五、 操作口负压试验，应确认通过整个操作口的气流流向均指向柜： 六、 洗涤盆漏水程度试验，应确认盛満水的洗涤盆经过】h后无漏水现象： 七、 接地装置的接地线路电阻试验，应确认接地的分支絞路在接线及插座处的电阻不超 过规定值。 第四章水、气、电系统 第一节-般规定 第4丄1条洁净室的给水排水、消防设施、气体动力、电气照明等施工，除应符合本規 外，尚应符合现行国家标准《采暖与卫生工程施丄及验收规》GBJ242、《丄业管道工 程施匸及验收规》GBJ 235＞《现场设备、工业管道焊接工程项目施工及验收规》GBJ 236. 《电气装置安装工程项目施工及验收规》GBJ 232和《工业自动化仪表工程施1：及验收规》 GBJ93的有关规定。 第4.1.2条给水排水管道和气体动力管道穿过洁净室的墙壁和楼板应设套管，套管的管 段不得有接头，管子与套管之间必须用不燃和不产尘的密封材料封闭。 第4.1.3条明装或暗装的电气线管，其管材应采用不燃材料，洁净室线管的管口应用不 产尘的密封材料封闭。 第4.1.4条洁净室的管道外表面的保温层，应采用不产尘的不燃或难燃的保温材料，保 护层应采用金属保护売。对于生物洁净室，管道保护売缝隙应作防水密封处理，保护壳 材质应能抗消毒剂的浸蚀。 第4.1.5条给水排水管道和气体动力管道的强度试验、气密性试验、真空度试验和泄漏 量试验，当设计无要求时，应按有关规执行。 第4.1.6条水、气、电系统安装应与其他工程密切配合，严格按程序施工，并符合附荥 二的要求。 第二节给水排水 第4.2.1条洁净室的給水管道的材质必须符合设计要求。设计无要求时，各类给水管道 的材质宜符合下列规定： 一、 给水管道、工艺设备的冷却循环水管道宜为镀锌钢管： 二、 纯水、高纯水管道为不锈钢（SUS）管、硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管 和工程塑料（ABS）管等： 三、 管道的配件应采用与管道相应的材质。 第4.2.2条纯水和高纯水采用不锈钢（SUS）管、硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP； 管和工程塑料（ABS）管，其化学成分及物理性能应符合设计要求。 第4.2.3条纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前必须清除油污和进行脱脂处理。 第4.2.4条纯水、高纯水采用硬聚氯乙烯（PVC）管、聚丙烯（PP）管和工程塑料（ABS） 管时，其管道安装应符合下列要求： 一、 管道安装必须在环境清洁，室温在5C以上，相对湿度在85%以下的条件下进行： 二、 管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接； 三、 管道或管件的承「1不得歪斜和厚度不匀。管端不得有裂缝。管道的承插间隙不得大 于O.15?O.3mm： 四、 管道在粘接前，应对表面进行砂磨处理和清洁处理，不得沾污，粘接时必须保证插 入承口的深度； 五、 法兰面应平整光滑，密封面应与管道中心线垂直； 六、 活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接： 七、 埋地敷设时，必须对垫层进行处理或设简易管沟；安装在地面上时，应设防护罩： 八、 管道采用焊接或平焊法兰连接时，管道或法兰应根据不同厚度加工坡「I,焊缝及坡 口形式应符合表4.2.4的规定，焊缝应壊满，不得有焦黄、断裂、虚焊等现象，焊缝强 度不能低于母材的60%，焊条材质应与管材相同。 表 4.2.4 雅 瞄F關心 5 5 50-70 用于警适对 第4.2.5条纯水、高纯水管道采用不锈钢（SUS）管时，其管道安装应符合下列要求: 第 第4.4.3条气体管道的附件应符合下列要求: 一、 管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式； 二、 焊接应采用鸨极机弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺： 三、 釆用分段组装工艺的翻边管、三通、弯头等部件焊接时.管成充気气保护，使焊缝 表面光滑无氧化现象； 四、 管道部件的点固焊应与焊接相同，必须采取措施，防止焊缝氧化； 五、 管道部件焊接后应将管焊缝氧化物清刷冲洗掉，再用四氣化碳脱脂，然后封闭管口； 六、 设计无要求时，法兰垫片宜釆用聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯板。 第4.2.6条纯水、高纯水管道系统强度试验合格后，在系统运转前必须进行清洗，清洗 后的水质应符合设计要求。 第4.2.7条洁净室的地漏或排水漏斗安装后必须封闭。 第4.2.8条与设备连接的排水管，当采用螺纹连接时，不得使用铅油麻统。 第三节消防设施 第4.3.1条暗装消火栓的立管，安装位置必须与土建施工密切配合，不得外露。 第4.3.2条安装在洁净室的消火栓，其水龙带和消火栓箱外必须擦洗干净。 第4.3.3条明装的消火栓箱的箱背应紧贴墙面，并将缝隙用密封胶密封。 第4.3.4条自动灭火系统的喷头短管穿过吊顶处，必须封闭严密。 第4.3.5条火灾探测器应安装在靠近回风口处，距墙壁或梁的距离应大于0.5m,距送 风口的距离应大于1.5m,距全孔板送风口的距离应大于0.5m。 第4.3.6条在卤代烷灭火系统的灭火瓶站的集流管上应连接通至室外的泄压管，并在池 压管上安装截止阀。 第四节气体管道 第4.4.1条本节适用于洁净室圧力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、 煤气等一般气体和高纯气体管道及线条气体管道管材的型号、规格、化学成份及物理性能应符合设计要求。管道的 表而无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折迭、重皮、锈斑和麻点等缺陷。 一、 阀门与氧气接触部分不得用可燃材料，其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟 乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯； 二、 气体管道的法兰垫片应符合设计要求，材质柔软、无老化变质和分层现象，表面不 应有折损和皱纹等缺陷； 三、 氢、氧管道的附件、仪表及过滤器等，其材质、型号和规格应符合设计要求，并有 符合该介质条件的出厂合格证书。 第4.4.4条气体管道安装应符合下列要求： 一、 管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装：输送 潮湿气体的管道应安装成有不小于0.003的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器； 二、 管道的连接采用焊接，并采用钙极氣弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊 接或点固焊均应釆取管充氣保护措施： 三、 气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采 用聚四氟乙烯薄膜； 四、 通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净： 五、 气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并在48h 分段组合安装，充入压力不小于0.2MPa的氮气保护； 六、 有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应 符合设计要求，焊点必须牢固、可靠。 第4.4.5条高纯气体管道的安装，除应符合第4.4.4条有关要求外，还应符合下列要求: 一、 经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前必须采取保护措施，严防二次污染： 二、 管口切割后，应进行清洗，再进行分段组装焊接； 三、 管道预制、分段组装作业，必须在环境清洁的条件下进行，严禁在室外露天作业； 四、 分段预制或组装的管段两端应用塑料布或盲板封闭，不得污染。 第4.4.6条 无缝钢管的处理应符合下列要求： 一、 无缝钢管安装前应清除管外表面的铁锈、污物。管道壁除锈应根据设计要求进行， 当设计无要求时，可按其管锈蚀情况采用一般除锈、喷砂除锈和酸洗、钝化处理： 二、 氢、氧管道安装前，必须对油渍、铁锈进行除锈或酸洗后再进行脱脂处理： 三、 钢管酸洗、钝化或脱脂后，应清除管残留的溶液，并将处理合格的管道及时封闭管 口： 四、脱脂后的管道、管件和垫片，安装前必须严格检查，用清洁、干燥的白色滤纸擦拭, 不出现油迹为合格。 第4.4.7条气体管道各项试验合格后，必须用经过滤器去除尘埃后的无油压缩空气或高 纯氮气吹扫，流速大T 20n/s,并以木槌在管道各处轻轻敲击，直至末端无水迹、脏物 为合格。高纯气体管道系统，末端测定的尘埃数，达到设计要求为合格。 过滤器的过滤效率应满足气体管道系统工艺对尘埃的要求。 第4.4.8条气体管道吹扫合格后，应再以实际输送的气体和压力，对管道系统进行吹扫, 在运行条件下无异常声音和振动为合格。气体管道输送可燃性气体之前，应用惰性气体 置换。 第五节电气装置 第4.5.1条洁净室的配电盘、柜，部不得有灰尘，盘、柜门应能关闭严密。 第4.5.2条暗装插座、暗装插座箱和开关的接线盒必须清扫干净，紧贴墙面，安装端正。 第4.5.3条灯具安装前必须擦拭干净。嵌入吊顶的暗装灯具，其灯罩的框架与吊顶接缝 必须进行密封处理。明装的吸顶日光灯具，其灯架应紧贴吊顶。 第4.5.4条洁净室的接线盒或拉线盒，其盒不得有灰尘，侖盖必须连接严密。 第4.5.5条电线管进入接线盒或配电盘、柜，穿线条洁净室安装的火灾探测器，空调温、湿度敏感元件及其他电气装置，在浄化 空调系统试运转前，必须清扫至无灰尘。对于生物洁净室，还应采取防水防腐蚀措施。 第五章工程验收 第一节一般规定 第5.1.1条洁净室的工程验收宜分为两个阶段进行，即先进行竣工验收，再进行综合性 能全面评定。 第5.1.2条竣工验收和综合性能全面评定必须对洁净室进行性能检测。 第5.1.3条竣工验收的检测和调整应在空态或静态下进行。综合性能全面评定的检测状 态，由建设、设计和施匸单位三方协商确定。任何一种检测得出的洁净度级别，必须注 明检测状态。 第5.1.4条在空态及静态条件下检测时，室检测人员不应多于2人，均必须穿洁净丄作 服，尽量少走动。 第5.1.5条竣工验收和综合性能全而评定由建设单位负责，设计、施工单位配合。 第二节竣工验收 第5.2.1条竣工验收应在对各分部工程做外观检査、单机试运转、系统联合试运转，空 态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。 第5.2.2条洁净室各分部工程的外观检査应符合下列要求： 一、 各种管道、自动灭火装置及净化空调设备（空调器、风机、净化空调机组、高效空 气过滤器和空气吹淋室等）的安装应正确、牢固、严密，其偏差应符合有关规定： 二、 高、中效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封； 三、 各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便： 四、 净化空调器、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘； 五、 洁净室的墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀，不起灰尘：地板无静 电现象； 六、 送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备等穿越洁 净室时，穿越处的密封处理应可靠严密； 七、 洁净室各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线管口应可靠密封； 八、 各种刷涂保温工程应符合有关规定。 第5.2.3条净化空调器或空调器，排风系统，局部净化设备（各类洁净工作台、静电门 净器、洁净干燥箱等），空气吹淋室，余压阀，真空吸尘清扫设备，烟感、溫感火灾自 动报警装置，白动灭火装置，净化空调自动调节装置和其他有试运转要求的设备的单机 试运转应符合设备技术文件的有关规定，属于机械设备的共性要求，还应符合现行国家 标准《建筑安装工程质量检验评判标准》TJ3O5 （通用机械设备安装工程）的规定和机 械设备施工安装方面有关行业标准的规定。 第5.2.4条单机试运转合格后，必须进行带冷（热）源的系统正常联合试运转，并不少 于8h°系统中各项设备部件联动运转必须协调，动作正确，无异常现象。 第5.2.5条竣工验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目应符合下列规定： 一、 通风机的风量及转数的检测； 二、 风量的测定和平衡； 三、 室静压的检测调整； 四、 自动调节系统联动运转： 五、 高效过滤器的检漏； 六、 室洁净度级别。 第5.2.6条洁净室竣工验收时，施工（安装）单位应提出下列文件： 一、 设计文件或设计变更的证明文件及有关协议和竣工图； 二、 主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件： 三、 单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表； 四、 开工、竣工报告，土建隐蔽工程系统和管线隐蔽工程系统封闭记录，设备开箱检查 记录，管道压力试验记录，管道系统吹洗（脱脂）记录，风管漏风检査记录，中间验收 单和竣工验收单： 五、 各单机试运转、系统联合试运转和第5.2.5条所列项目的调整检测记录。 第5.2.7条竣工验收终了应作结论。 第三节综合性能全面评定 第5.3.1条综合性能全面评定的性能检测应由有检测经验的单位承担，必须用符合要求 的、经过计量检定合格并在有效期的仪表，按本规的方法检测，最后提交的检测报告应 符合本规的有关法律法规。 第5.3.2条综合性能全面评定检测项目应按表53.2中排定的容顺序确定，检测工作在 系统调整好至少运行24h之后再进行。 項 巨 单向派（妥法） 沽净室 乱滝!&净室 治净度 布于 清帝瘦1660 繼及炸于 1 loooet ;室内送阈員，系統总蒙貝盆《必要时畐烷总送 艮飲）,有排K时的室内惓風量 松 H ? K M & S 3 設而平埒民造 * M 4 戒茴风理不均匀度 ! 检M 必要时泌 不 5 治冷度级别 . 松 恩 6 浮 君類t恿 ? 宝内4度您相对洪慶 检 ffi 室5U虚相財沮宝〉波筋莅蝦由区域温景 9 気内■建級 10 宝内俗辰程声压醒 11 室内陶3：新預度鬼匀度 12 窒内遂接 13 表强导t＞电燈佬 5室内气流流变 不测. 1必y 15 流域平行性 松ft 不灘 1? 白馴睡阮 1不? 名系时樞；右旻时制 空合桂億全面评定检ana 空合桂億全面评定检ana目和蚓序 ￡ 5.J.2 法，1~3項必尾快太中域* 箕也客琐W序可以羅作吏乳14T6项宣笈在此 后? 第5.3.3条综合性能全面评定检测进行之前，必须对洁净室和净化空调系统再次全而彻 底淸扫，但严禁使用一般吸尘机吸尘。清扫后由身着洁净工作服的人员擦拭表面，清洗 剤可根据场合选用纯水、有机溶剂、中性洗涤剤和自来水，有防静电要求的，最后宜用 沾有防静电液的抹布擦一遍。 第5.3.4条综合性能检测时，建设、设计?施匚单位均须在场配合、协调。 第四节评定标准 第541条检漏按附录六、一的方法步骤进行，由受检过滤器下风側测到的漏泄浓度换 算成的透过率，对于高效过滤器，应不大于过滤器出厂合格透过率的3倍，对于超高效 过滤器，应不大于岀厂合格透过率的2倍。 第5.4.2条风量和风速的检测应符合下列规定: 一、乱流洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定： 系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%： 总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%： 室各风门的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。 二、单向流（层流）洁净室按附录六、二检测，结果应符合以下规定: 实测室平均风速应大于设计风速，但不应超过20%： 总实測新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%. 第5.4.3条风速不均匀度按附录六、四检测，并按下式计算，结果应不大于0.25。 (5?4?3 ) Bq Bq 式中①——风速不均匀度， 渊点数。22——任一点实厕风速, 冨—苹均风速； 渊点数。 n 第5.4.4条静压差按附录六、三检测，其结果应符合下列规定： 一、 相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa： 二、 洁净室与室外静压差应大于l（）Pa： 三、 洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室在开门状态下，在岀入口的室侧0.6m 处不应测出超过室级别上限的浓度。 第5.4.5条室洁净度按附录六、五检测，然后按下列公式计算室平均含尘浓度N和各测 点平均含尘浓度的标准误差aN： (5.4.5 — 1)C, W (5.4.5 — 1) C, W级别上限 N+静W级别上限 (5.4.5-2) (5.4.5 _ 3) 式中〃——测点数； 一每个采样点上的平均含尘浓度； I ——置信度上限为95%时，单侧，分布的系数’K 值见表545。 系数t表5.4.5 点数 2 3 4 5?6 7?9 10 ?16 17 ?29 29 t 6.3 2.9 2.4 2.1 1.9 1.8 1.7 1.65 第5.4.6条室浮游菌和沉降菌按附录六、六检测，应符合设计的基本要求。 第5.4.7条室空气温度、相对温度按附录六、七检测应符合下列规定： 一、 无恒温要求的场所，温度和相对湿度符合设计的基本要求： 二、 有恒温恒湿要求的场所：室温波动围按各测点的各次温度中偏离控制点温度的最大 值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线弓以上測点达到的偏差值为室溫波动 围，应符合设计的基本要求。区域温差以各测点中最低的一次温度为基准，各测点平均温度与 其偏差值的点数，占測点总数的百分比整理成累积统计曲线%以上測点所达到的偏 差值为区域温差，应契合设计要求。 相对湿度波动围可按室温波动围的原则确定。 第5.4.8条 室噪声级按附录六、八检测，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规》GBJ 73的规定。 第5.4.9条室照度和照度均匀度按附录六、九检测，照度值和照度均匀度（即工作而上 最低照度值与平均照度值之比）应符合现行国家标准《洁净厂房设计规》GBJ73的规 定。 第5.4.10条室微振按附录六、十检测，三个方向的振幅均应符合设计的基本要求。 第5.4.11条表面导静电性能按附录六、十一检测，当工艺无要求时，去面电阻值应为 l.0xl07-1.0xl0°Q.泄漏电阻应为 1.0x0?1.0x10也。 第5.4.12条室气流流型按附录六、十二检测，应绘出流型图和给出分析意见。 第5.4.13条流线平行性按附录六、十三检测，在工作区气流流向偏离规定方向的角度 不大于15。。 第5.4.14条口净时间按附录六、十四检测，实测自净时间不应大于由附图6-3査出的 计算自净时间的1.2倍。

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