现在对洁净室等级规划区别*常用的是美国联邦FS 209E规范。常说的100级洁净室说的便是指在1立方英尺的空间内，不小于0.5微米的粒子有必要不多于100个，10级便是1立方英尺的空间，0.5微米的粒子有必要不多于10个，1000级则不能多于1000个。
一般来说，1级洁净室大多数都用在制作大规模集成电路的微电子工业；10级的洁净室大多数都用在带宽小于2微米的半导体职业；100级是*常用的洁净室，可用于医药中的无菌制作工艺、外科手术、人工内脏器官和集成电路出产；1000级大多数都用在光学产品和高质量微型轴承的出产，以及飞机陀螺仪的测验；10000级用于液压设备或气压设备的出产，有些情况下也用于餐饮的出产；100000级用于许多工业部门出产部门，餐饮和医药职业也常常运用这**洁净室。
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