洁净室界说与测验标准概述

  洁净室的界说，早是在美国联邦标准209上呈现，之后日渐遍及并广为半导体业与制药业承受。到了90年代后期，工业界体认到若是无一起标准，就不可以完成经济的化，所以有ISO-14644的发生。以下阐明洁净室的各种标准与标准。

  Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) ：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技与工业开展，版别从原始的209、209A，一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日，美国正式揭露宣告废止209E，改用ISO-14644，所以209E在书面上走入前史。可是在工业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、中国台湾、与中国大陆，都还沿袭209E。

  ISO-14644系列;美国政府为了推进经济化，就很大方的抛弃了自己的209E，改而推广悉数运用公制的标准ISO-14644。14644系列有8个子题，称为14644-1，14644-2，一直到14644-9。整个系列包括了等级界说、测验与监督的标准、测验的程序办法、规划与制作、操作、以及其它的有关设备等，规模很广。

  JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规则洁净室中浮游粒子的浓度测定方法，及洁净度的等级界说。

  VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规则洁净度等级的界说方法，以及洁净度的量测技能。

  Gost-R 50766 (1995)：俄国的洁净标准，界说洁净室的分类与一般需求。

  以上是洁净室等级规则，与洁净衡量测的有关标准。别的有关洁净室污染操控(也便是洁净度操控)，和环境操控(如温湿度、轰动噪音等)，也有一些重要的测验标准，因为这些环境影响要素，都包含在洁净室功能测验的规模之内。

  IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测验标准，意图是为了补209的缺乏。209只要微粒量测，006 包含了风速风量、滤网走漏、洁净度、温湿度、平行度、康复率、粒子沉降测验、照度等。006 的*版称为006-84-T，006.2是第二版。现在因为 NEBB 的鼓起，0062现已功遂身退 ，逐步消失了。

  NEBB 洁净室测验标准第二版：这是现在广为盛行的测验标准，说到洁净室认证，就非 NEBB 莫属。NEBB 洁净室测验标准，可说是IEST-0062的改良版，其测验包括规模差不多，可是测验程序更为清楚谨慎，仪器运用也有具体规则。因而 NEBB 洁净室测验标准的呈现，处理了不少测验的争议，也因而 NEBB 洁净室测验标准成功的成为工业标准。 洁净。。ｏｒｇ- MNxNhtbBSEeS*bvF

  ISO-14698 系列：14698 有三个子题，是有关生物污染的操控。

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