洁净度:ISO5(百级)ISO6(千级)ISO7(万级)ISO8(10万级)温度:干球温度
和湿球温度湿度:相对湿度/湿度正压:不同洁净度之间压差5Pa,洁净室对外压差5
-10Pa负压:空态:出产设备也没有静态:设备有,但没有出产动态:出产的悉数过程中,进
规范化安排(ISO)的14644-1规范对洁净室是这样阐明的:该洁净室的悬浮粒子
浓度受控,其制作和运用方法是使进入、发生、停留于室内的粒子zui少;室内其他参数,
比方温度、湿度、气压、按需求受控。该界说的前半部分基本上阐明什么是洁净,这是一
个使粒子的进入、发生、停留zui少化的房间。要完成这一点,首要,要对极很多的送风经
zui后,洁净室人员运用服装罩住身体,使他们发出的粒子和微生物zui少。这些办法及
其他运用洁净室引进、发生、停留的污染降至zui少的类拟办法。洁净室还能操控温度、
湿度、声响、照明、振荡。但这些特性并非洁净室所专有。洁净室的使用方式有多种多样
产品电子计算机、电视现象管、平面荧光屏半导体计算机用存储和操控集成电路
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