千级洁净室界说规范和要求

  千级无尘车间主要是过滤大于或等于0.5UM尘土粒子，其送风量按换气数一般在50次以上。无尘净化车间洁净度等级分为百级千级万级十万级三十万级，也便是说值越小，净化等级就越高，洁净度越高造价就越高。无尘车间的净化洁净度依据出产的根本工艺要求，适宜就好，一味地寻求高等级只能形成资源上的糟蹋。

  依照世界惯例，无尘净化等级主要是依据每立方米空气中粒子直径大于区分规范的粒子数量来规则。也便是说所谓无尘并非100%没有一点尘埃，而是控制在一个十分微量的单位上。当然这个规范中契合尘埃规范的颗粒相关于咱们常见的尘埃已经是小的微乎其微，可是关于光学结构而言，哪怕是一点点的尘埃都会发生十分大的负面影响，所以在光学结构产品的出产上，无尘是必定的要求。

  每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了世界无尘规范的A级。现在应用在芯片级出产加工的无尘规范关于尘埃的要求高于A 级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片出产上。微尘数量被严控在每立方米1000个以内，这也便是业界俗称的1K等级。

  而无尘车间是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照 明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等 功能之特性。

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